[发明专利]振动波微纳电容传感器及流体管道振动波监测阵列系统

权利要求书

1.振动波微纳电容传感器，其特征在于：包括外壳，所述的外壳包括上半壳和下半壳，所述的上半壳和下半壳之间固定设置有隔离薄膜；所述的隔离薄膜与上半壳构成第一腔室，所述的隔离薄膜与下半壳构成第二腔室，所述的第一腔室和第二腔室体积相等；

所述的隔离薄膜的上壁镀有第一金属膜，所述上半壳的内壁对应第一金属膜镀有上金属膜，所述的第一腔室中充有第一气体作为电介质，从而构成第一电容，第一金属膜和上金属膜作为第一电容的两个极板；

所述隔离薄膜的下壁镀有第二金属膜，所述下半壳的内壁对应第二金属膜镀有下金属膜，所述的第二腔室中充有第二气体作为电介质，从而构成第二电容，第二金属膜和下金属膜作为第二电容的两个极板；

所述第一电容的两个极板引出第一组接线端子；所述第二电容的两个极板引出第二组接线端子。

2.根据权利要求1所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：所述的第一气体和第二气体的密度不同，第一腔室中的第一气体和第二腔室中的第二气体等体积、等压强。

3.根据权利要求2所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：所述的第一气体和第二气体均为纯净气体。

4.根据权利要求3所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：所述的第一气体为氮气，所述的第二气体为氩气。

5.根据权利要求4所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：第一电容和第二电容空间拓扑结构一致。

6.根据权利要求1所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：所述的外壳为薄膜状。

7.根据权利要求1所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：所述的上半壳和下半壳以隔离薄膜为对称面对称，所述的第一金属膜和第二金属膜以隔离薄膜为对称面对称且有效面积相等；所述的上金属膜和下金属膜以隔离薄膜为对称面对称且有效面积相等。

8.根据权利要求1所述的振动波微纳电容传感器，其特征在于：所述的外壳外壁上设置有卡接翼。

9.一种利用权利要求1所述振动波微纳电容传感器的流体管道振动波监测阵列系统，其特征在于：包括固定环，所述的固定环开设有多个传感器安装孔，所述的传感器安装孔沿固定环周向均匀排布；所述的振动波微纳电容传感器放置于传感器安装孔中，每个所述振动波微纳电容传感器的第一电容和第二电容分别并联于供电回路中，每个所述振动波微纳电容传感器的第一电容和第二电容的信号输出端连接外部的处理器的信号输入端。

10.根据权利要求9所述的流体管道振动波监测阵列系统，其特征在于：所述的传感器安装孔中填充有耦合剂。