[发明专利]一种激光光斑尺寸的测算方法在审
| 申请号： | 201811569283.6 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109443215A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王岳亮;李福海;马文有;陈兴驰;刘敏;赵国瑞;董东东 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 宋南 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光光斑 烧蚀 辐照激光 探测材料 测量 光学测量技术 测算 激光束辐照 理论关系式 靶面位置 测定条件 激光烧蚀 拟合曲线 透镜聚焦 靶面 短焦 拟合 | ||
1.一种激光光斑尺寸的测算方法，其特征在于，包括以下步骤：
用激光束辐照置于待测靶面位置的探测材料的表面得到第一烧蚀斑；
改变辐照激光能量并于所述探测材料的表面获得除所述第一烧蚀斑以外的多个烧蚀斑以获得激光烧蚀斑尺寸与辐照激光能量之间的对应关系；
基于所述探测材料表面的烧蚀斑尺寸与辐照激光能量的理论关系式对所得的对应关系进行拟合，拟合曲线方程中代表ω的数据即为待测的激光光斑尺寸。
2.根据权利要求1所述的测算方法，其特征在于，所述激光束为脉冲激光或可调制连续激光。
3.根据权利要求2所述的测算方法，其特征在于，激光束的激光波长为300-1200nm。
4.根据权利要求3所述的测算方法，其特征在于，激光束的激光波长为500-1200nm。
5.根据权利要求4所述的测算方法，其特征在于，激光束的激光波长为800-1100nm。
6.根据权利要求1所述的测算方法，其特征在于，所述探测材料为激光易烧蚀材料。
7.根据权利要求6所述的测算方法，其特征在于，所述探测材料包括相纸、铝箔或铝反射镜。
8.根据权利要求1所述的测算方法，其特征在于，改变辐照激光能量是通过改变与辐照激光能量成线性比例关系的参数实现。
9.根据权利要求8所述的测算方法，其特征在于，所述参数包括激光能量、激光脉冲持续时间或激光输入电流。
10.根据权利要求1所述的测算方法，其特征在于，拟合采用Matlab软件进行。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省新材料研究所，未经广东省新材料研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811569283.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
