[发明专利]气体传感器封装件和包括其的感测设备

说明书

提供了一种气体传感器封装件和一种包括其的感测设备。该气体传感器封装件包括：封装基底，具有孔，孔具有在封装基底的第一表面处开口的端部；气体传感器，设置在封装基底的孔中；固定板，设置在封装基底的第一表面上，固定板具有在固定板的顶表面和底表面之间延伸的通气孔，固定板的底表面面向封装基底，固定板的顶表面背向封装基底，当在平面图中观看时，固定板与封装基底的孔叠置；以及保护膜，附着到固定板。当在平面图中观看时，保护膜与通气孔叠置。

本申请要求于2018年1月10日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0003171号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

技术领域

发明构思的示例性实施例涉及一种气体传感器封装件和包括该气体传感器封装件的感测设备。

背景技术

通常，气体传感器可通过利用由于气体分子的吸附而导致电导率或者电阻的变化来测量目标气体的量。可以使用金属氧化物半导体、固体电解质材料或者其他有机材料来制造气体传感器。

空气质量通常在影响人体的健康方面扮演重要角色。随着室内空间变得更窄或更封闭并且用作建筑材料的化学物质的量增加，空气污染会增加到会影响人类健康的水平。因此，会期望高精度和高性能的气体传感器以实现提高的精度。同时，正在研究将气体传感器应用到便携式电话或可穿戴装置的方法。

发明内容

发明构思的实施例可以提供一种能够提高感测精度的气体传感器封装件和一种包括该气体传感器封装件的感测设备。

在一个方面中，一种气体传感器封装件可以包括：封装基底，具有孔，孔具有在封装基底的第一表面处开口的端部；气体传感器，设置在封装基底的孔中；固定板，设置在封装基底的第一表面上，固定板具有在固定板的顶表面和底表面之间延伸的通气孔，固定板的底表面面向封装基底，固定板的顶表面背向封装基底，当在平面图中观看时，固定板与封装基底的孔叠置；以及保护膜，附着到固定板。当在平面图中观看时，保护膜可以与通气孔叠置。

在一个方面中，一种感测设备可以包括：模块板，具有在模块板的顶表面和底表面之间延伸的第一孔；以及气体传感器封装件，安装在模块板上并且当在平面图中观看时与第一孔叠置，其中，气体传感器封装件包括：封装基底，具有第二孔，第二孔具有在封装基底的第一表面处开口的端部；气体传感器，设置在封装基底的第二孔中；固定板，设置在封装基底的第一表面上，固定板具有在固定板的顶表面和底表面之间延伸的通气孔，固定板的底表面面向封装基底，固定板的顶表面背向封装基底，当在平面图中观看时，固定板与封装基底的第二孔叠置；以及保护膜，附着到固定板。当在平面图中观看时，固定板可与第二孔叠置。封装基底的第一表面可以面对模块板。

附图说明

鉴于附图和随后的详细描述，根据示例性实施例的发明构思将变得更清楚。

图1A是示出根据发明构思的一些示例性实施例的气体传感器封装件的平面图。

图1B是沿图1A的线I-II截取的剖视图。

图1C是示出根据发明构思的一些示例性实施例的气体传感器封装件的剖视图。

图2A是示出根据发明构思的一些示例性实施例的气体传感器封装件的平面图。

图2B是沿图2A的线I-II截取的剖视图。

图3是示出根据发明构思的一些示例性实施例的气体传感器封装件的剖视图。

图4是示出根据发明构思的一些示例性实施例的气体传感器封装件的剖视图。

图5是示出根据发明构思的一些示例性实施例的气体传感器封装件的剖视图。

图6是示出根据发明构思的一些示例性实施例的感测设备的剖视图。

具体实施方式