[发明专利]微通道板平面度的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种微通道板平面度的检测装置，其特征在于，包括：

固定机构、图像采集机构、投影机构、光源和处理机构；其中，所述固定机构、图像采集机构、投影机构和光源依次设置；

所述固定机构用于固定待测的微通道板；

所述投影机构包括垂直相交的第一杆件和第二杆件，所述第一杆件的直径为0.05-1mm，所述第二杆件的直径为0.05-1mm，所述第一杆件和所述第二杆件所形成的平面平行于所述微通道板的待测量平面；

所述光源使所述投影机构正投影在所述待测量平面上，所述第一杆件和所述第二杆件在所述待测量平面上的投影分别为第一投影和第二投影；

所述图像采集机构位于所述待测量平面和所述投影机构的之间，用于采集所述第一投影和第二投影的图像，形成图像数据；

所述处理机构与所述图像采集机构连接，可接收所述图像数据，并处理所述的图像数据，获得所述微通道板的待测量平面的平面度；

所述图像采集机构包括摄像头，用于采集所述第一投影和第二投影的图像；

所述摄像头的中心与所述第一杆件和所述第二杆件的相交点的连线垂直于所述待测量平面。

2.根据权利要求1所述的微通道板平面度的检测装置，其特征在于，

所述光源的投射线平行且垂直于所述待测量平面。

3.根据权利要求1所述的微通道板平面度的检测装置，其特征在于，

所述处理机构包括处理设备，用于处理所述图像数据，并与预存的数据库进行比较，获得所述微通道板的待测量平面的平面度。

4.根据权利要求3所述的微通道板平面度的检测装置，其特征在于，

所述处理机构还包括显示设备。

5.一种微通道板平面度的检测方法，其特征在于，使用权利要求1-4中任一项所述的微通道板平面度的检测装置，包括：

将微通道板固定于所述固定机构上；

打开光源，将所述投影机构正投影在所述微通道板的待测量平面上，形成第一投影和第二投影；

通过所述图像采集机构采集所述第一投影和所述第二投影的图像，形成图像数据；

将所述图像数据传输到所述处理机构，对所述图像数据进行处理，并与预存的数据库进行比较，获得所述微通道板的待测量平面的平面度。

6.根据权利要求5所述的微通道板平面度的检测方法，其特征在于，

所述处理包括：选取合适的阈值，对所述图像数据进行二值化处理，同时采用边缘检测算法，保留图像中两条垂直直线的图像信息，并计算出两条直线图像的中轴线；分别在两条直线的中轴线上选取两个点构成两条直线的中轴线向量，利用两向量的乘积获得所述图像的两直线的夹角。

7.根据权利要求5或6所述的微通道板平面度的检测方法，其特征在于，所述预存的数据库为指定的夹角和平面度的关系。

8.根据权利要求5或6所述的微通道板平面度的检测方法，其特征在于，所述指定的夹角和平面度的关系的标准通过电子扫描显微镜得到。

9.根据权利要求5或6所述的微通道板平面度的检测方法，其特征在于，所述指定的夹角和平面度的关系的标准为：

当夹角为85°时，平面度为12.16μm；

当夹角为83°时，平面度为15.35μm；

当夹角为80°时，平面度为16.96μm；

当夹角为75°时，平面度为25.26μm；

当夹角为70°时，平面度为43.39μm；

当夹角为60°时，平面度为56.57μm；

当夹角为50°时，平面度为79.77μm。