[发明专利]一种镀膜装置和镀膜方法在审
| 申请号： | 201811572735.6 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109576646A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 赵树利 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜装置 加热区 镀膜 铜铟镓硒薄膜 玻璃化转变 基板 低温加热区 高温加热区 镀膜腔室 太阳能电池领域 浮法玻璃 基板依序 非均匀 结晶性 受限 加热 | ||
1.一种镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，其特征在于，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；
其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；
所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述低温加热区至少两个，且所述高温加热区设置于至少两个所述低温加热区之间。
3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区包括：第一高温加热区和第二高温加热区，所述第一高温加热区的镀膜温度高于所述第二高温加热区的镀膜温度。
4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区的长度小于所述低温加热区的长度。
5.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区与所述低温加热区之间安装有隔热板，所述隔热板下部开设用于所述基板通过的通道。
6.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜腔室的加热区内的边缘区域设置辅助加热装置。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜腔室为铜铟镓硒镀膜腔室，所述基板为浮法玻璃。
8.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高温加热区的镀膜温度为600-650℃。
9.根据权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一高温加热区的镀膜温度为600-650℃；所述第二高温加热区的镀膜温度为550-600℃。
10.一种镀膜方法，其特征在于，包括：将基板依次通过镀膜腔室内的至少两个加热区，以在所述基板上镀膜；
其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；
所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。
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