[发明专利]一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统

权利要求书

1.一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，包括圆形基底(1)、聚焦型叉指换能器(2)、三电极系统(3)、隔膜(4)、圆环形液体反应池(5)以及由测温电阻(6)和薄膜热电材料(7)组成的温控结构，其中弧形叉指换能器(2)、三电极系统(3)蒸镀在圆形基底(1)上方；隔膜(4)溅射于圆形基底(1)下方；通过氧等离子体表面处理将圆环形液体反应池(5)与圆形基底(1)键合，圆环形液体反应池(5)位于圆形基底(1)上方；温控结构中测温电阻(6)溅射在隔膜(4)上，薄膜热电材料(7)附着在圆环形液体反应池(5)壁处，上下交错的叉指换能器、具有压电特性的基底 。

2.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，所述圆形基底(1)材质为压电材料铌酸锂晶体。

3.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，聚焦型叉指换能器(2)由一对弧形叉指和弧形反射栅(8)组成，弧形叉指的圆心角度、孔径距离、上下交错距离、中心频率随着不同反应物的反应需求进行调整，弧形叉指以圆环形液体反应池(5)圆心位置对称排布，叉指的外围布有弧形反射栅(8)。

4.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，所述的三电极系统(3)由工作电极(9)、对电极(10)、参比电极(11)构成，三电极系统(3)蒸镀在圆形基底(1)上，在中间电极涂覆氯化银形成参比电极(11)。

5.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，所述液体反应池(5)为圆环形，使用刀具模型切割添加固化剂的PDMS而成，键合于叉指换能器(2)中心位置处。

6.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，所述隔膜(4)为二氧化硅薄膜。

7.根据权利要求1所述的一种提高微量液体电化学反应效能的声表面波微反应系统，其特征在于，所述温控结构由测温电阻(6)和薄膜热电材料(7)组成，测温电阻(6)溅射在隔膜上，位于液体反应池(5)的正下方，薄膜热电材料(7)附着在液体反应池(5)池壁处。