[发明专利]用于蒸发器源的承载器装置

说明书

本发明涉及一种自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。此外，本发明涉及一种蒸发器装置，其具有所述类型的承载器装置和布置在其中的蒸发器源(10)。

本申请为申请日为2015年5月20日、申请号为201580026919.0、名称为“用于蒸发器源的承载器装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于蒸发器源的承载器装置，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理。蒸发器源尤其被构造用于蒸发金属、例如铜并被设计用于一个或多个基底的表面覆层过程。此外，本发明涉及一种蒸发器装置，该蒸发器装置具有承载器装置和布置在该承载器装置中的蒸发器源。

背景技术

由现有技术以多种多样的设计方案已知了用于例如在表面覆层或表面处理过程中提供蒸气态材料的热蒸发源。因此，US2010/0285218A1例如示出了具有接收多个坩埚的壳体的蒸发器，该壳体与具有多个出流喷嘴的蒸气分配器处于流体连通。在此情况下，在结构方面，接收坩埚的壳体单元需要例如与沿纵向延伸的蒸气分配器连接。

在此情况下必须确保：足够地加热从坩埚延伸直至各个出流喷嘴的出流路径，以便从坩埚出来的蒸气没有在坩埚壳体内壁或蒸气分配器壳体内壁上冷凝，这可能损害出流行为。对于蒸发在正常条件下具有2000℃以上的比较高的沸点的特定金属、例如铜而言，被证实难以设计这样一种蒸发器源，该蒸发器源在尽可能大的整个表面提供均匀的空间蒸发分配。用于蒸发器源的材料必须是耐高温的并具有适当的导热能力。此外必须尽可能避免蒸发器源结构内部的可能的热桥，并就此而言使蒸发器源的各个区段或区域之间的连接部位或接口最小化。

因此，本发明的一个目的是提供一种热脱耦装置，其尽可能有效地且尽可能简单地在用于表面处理过程的过程室中具有蒸发器源。此外应当使蒸发器源、必要时还有与该蒸发器源在流体技术上连接的蒸气分配器能够以尽可能小的设备耗费布置在过程室中以及相对于机械应力、尤其是冲击、震动或振荡受保护。

发明内容

该目的利用根据权利要求1的用于蒸发器源的自承式承载器装置以及利用根据权利要求9的蒸发器装置来解决。在此情况下，有利的设计方案分别是从属权利要求的主题。

在第一方面就此而言设置了用于蒸发器源的自承式承载器装置或承载结构，所述蒸发器源尤其被构造用于至少一个基底的表面处理。承载器装置具有底部和与该底部连接的侧壁结构。在此，底部和侧壁结构构成一个接收部，蒸发器源可以插入到该接收部中或在该接收部中可接收所述蒸发器源。此外，底部和侧壁结构由石墨纤维材料构成。

用于蒸发器源的承载器装置或承载结构能够实现蒸发器源在承载器装置的底部上的安装。就此而言，底部提供了用于蒸发器源的支撑面。由此，蒸发器源的重力可以完全被底部接收并被传递到与该底部连接的侧壁结构中。这点能够实现：提供用于蒸发器源的悬挂式布置，而不必在蒸发器源上安置用于悬挂式布置的可能的紧固器具。替代于此地，可以通过将蒸发器源定位在承载器装置的接收部中而实现用于蒸发器源的悬挂式接收部，在该悬挂式接收部的情况下，可能的紧固器具没有被布置或安置在蒸发器源本身上，而是被布置或安置在承载器装置上、尤其是侧壁结构的上部的、背离底部的区段上。

此外，承载器装置可以提供用于蒸发器源的机械保护功能。尤其当蒸发器源例如具有单体的石墨壳体时，蒸发器源可以对冲击比较敏感。通过在由底部和侧壁结构构成的接收部中使用整个蒸发器源可以广泛地保护蒸发器源不受外部影响、尤其是机械应力、例如冲击和震动的影响。

由石墨纤维材料制成底部和侧壁结构的设计方案不仅在承载器装置的热负载能力方面，而且出于重量和稳定性原因也是有利的。