[发明专利]一种真空室内在线运动监控温度测量装置

说明书

本发明公开了一种真空室内在线运动监控温度测量装置，包括装载小车、真空室，装载小车上的活动盘中心处设有延伸至装载小车底部的驱动座，驱动座底面设有通槽、热电偶接线柱以及与热电偶接线柱连接的连接块，接线柱连接热电偶，真空室底部的传动轴上固定有驱动块以及与连接柱，在连接柱内设有弹簧及球面体，驱动块位于通槽内，并且球面体在弹簧作用下嵌入连接块上的球面槽内，传动轴另一端通过信号柱封闭，信号柱上设有导电环，传动轴内部通过导线连接导电环与弹簧，温控仪通过碳刷与导电环连接。本发明能实时测量到产品表面的实际温度，同时解决了因工件装载小车运动造成测量温度不准确的问题。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体是一种真空室内在线运动监控温度测量装置。

背景技术

真空镀膜产品质量的好坏跟温度有很大的关系，在五金工具、五金模具、电子行业用品等的单体镀膜机中，装载产品的小车是处于一个直线或者旋转的运动状态，真空室内的测温装置只是固定于真空室的某一个位置点，测量的是这一个位置点周边区域的温度，而整个真空室的空间很大，各区域的温度是不均匀的，这样就造成测量不能实时反映产品表面的实际温度，造成温度反映失实和测量不准，严重影响到产品的良率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空室内在线运动监控温度测量装置，解决真空室内产品表面温度测量不准的问题。

本发明采用的技术方案如下：一种真空室内在线运动监控温度测量装置，包括装载小车、真空室，所述装载小车上设有活动盘，活动盘可轴向转动，工件安放的活动盘上，在活动盘中心处固定有驱动座，驱动座延伸至装载小车底部，在驱动座的底面设有通槽，在驱动座的底面还安装有热电偶接线柱以及与热电偶接线柱连接的连接块，接线柱和连接块与驱动座之间通过绝缘块连接，接线柱通过导线与设置在工件旁的热电偶连接，在连接块的底面设有球面槽，真空室底部安装有驱动电机、传动引入机构，所述传动引入机构包括伸入真空室内的传动轴、安装在传动轴上与驱动电机连接的传动齿轮，传动轴与真空室密封连接，所述传动轴为空心轴，传动轴位于真空室内的末端通过端盖封闭，在端盖上固定有与驱动座上通槽匹配的驱动块以及与连接块对应的连接柱，连接柱由绝缘材料制成，其内中空，在连接柱内设有弹簧及球面体，弹簧及球面体由导电材料制成，装载小车位于真空室内工位时，驱动块位于通槽内，并且球面体在弹簧作用下嵌入连接块上的球面槽内与连接块接触，传动轴位于真空室外的末端通过信号柱封闭，在信号柱上设有导电环，在传动轴内部通过导线连接导电环与连接柱内的弹簧，在信号柱旁设有与导电环接触的碳刷，碳刷与温控仪连接。

进一步地，所述装载小车上设有托盘，在托盘上设有环形槽，环形槽内设有滚珠，所述活动盘放置在托盘上，活动盘与托盘之间通过滚珠接触。

进一步地，所述托盘上设有定位孔，在活动盘上设有活动的定位销，定位销与定位孔配合使装载小车在进入真空室内工位前活动盘与托盘位置相对固定。

进一步地，所述导线为铜导线，在铜导线外包有耐高温陶瓷套。

本发明的真空室内在线运动监控温度测量装置，在真空室外用几组碳刷连接到固定在旋转轴上的信号柱上面，在信号柱、旋转轴内部通过导线连接信号柱及弹簧球面体结构，弹簧球面体结构与真空室内装载小车上工件旁的热电偶连接，碳刷的另一端连接到温控仪，装载小车上的工件通过旋转轴的驱动进行旋转运动，旋转的同时碳刷把信号传递到温控仪上面，进行温度数据的反馈，所反映的温度是产品最接近范围内的温度，同时解决了因工件装载小车运动造成测量温度不准确的问题，能实时测量到产品表面的实际温度，从而大大提高了产品的稳定性和优良性；工件装载小车推入真空室内工位后，可通过弹簧球面体结构自动完成测温装置的对接，并且能够保证每次接触的稳定性；每层碳刷引入都保持彼此绝缘，导线用耐高温陶瓷套做外部绝缘，这样既保证了几组碳刷装置相互不受干扰又能有效的把温度反馈到温控仪上。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图。

图2是本发明的装载小车局部结构示意图。