[发明专利]一种平整度智能检测装置有效

专利信息
申请号: 201811577397.5 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN109373964B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 熊作平;周震 申请(专利权)人: 苏州能斯达电子科技有限公司
主分类号: G01B21/30 分类号: G01B21/30
代理公司: 苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516 代理人: 魏孝廉
地址: 215123 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 平整 智能 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种平整度智能检测装置,包括基准平板(3)、底座(9)、待测平板(10)和电源(28),其特征在于:所述底座(9)上表面活动放置有待测平板(10),所述底座(9)通过长度可调板(8)与待测平板(10)正上方的基准平板(3)固定连接,所述底座(9)、待测平板(10)以及基准平板(3)均为矩形结构,所述基准平板(3)的一侧设置有通孔(2),所述通孔(2)内活动安装有第一承载杆(1),所述第一承载杆(1)通过第二耐压胶片(12)固定连接有第二纳米柔性薄膜压力传感器(13),所述第二纳米柔性薄膜压力传感器(13)至少设置有两个,所述第二纳米柔性薄膜压力传感器(13)连接于第二耐压胶片(12)下表面的边沿处,所述基准平板(3)另一侧的上表面活动设置有第一纳米柔性薄膜压力传感器(7),所述第一纳米柔性薄膜压力传感器(7)通过第一耐压胶片(6)与施压杆(5)固定连接,所述基准平板(3)下表面的中部固定安装有第二承载杆(4),所述第二承载杆(4)的下表面固定设置有第三耐压胶片(16),所述第三耐压胶片(16)通过第三纳米柔性薄膜压力传感器(14)与第四耐压胶片(17)固定连接,所述第四耐压胶片(17)的下端固定安装有弹簧杆(15),所述弹簧杆(15)通过C形板(18)固定连接有滚轴(19),所述滚轴(19)穿过轻质滑动轮(11),且与轻质滑动轮(11)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种平整度智能检测装置,其特征在于:所述基准平板(3)的上、下两表面均光滑,所述基准平板(3)在垂直方向上的投影与待测平板(10)的上表面相重合。

3.根据权利要求1所述的一种平整度智能检测装置,其特征在于:所述C形板(18)为薄壁结构,所述C形板(18)的截面形状为“C”形。

4.根据权利要求1所述的一种平整度智能检测装置,其特征在于:所述第一耐压胶片(6)、第二耐压胶片(12)、第三耐压胶片(16)和第四耐压胶片(17)为同一种胶片,所述第一纳米柔性薄膜压力传感器(7)、第二纳米柔性薄膜压力传感器(13)和第三纳米柔性薄膜压力传感器(14)为同一种压力传感器。

5.根据权利要求1所述的一种平整度智能检测装置,其特征在于:所述长度可调板(8)的截面形状为L形结构。

6.根据权利要求1所述的一种平整度智能检测装置,其特征在于:所述第一纳米柔性薄膜压力传感器(7)由第一柔性衬底(25)、柔性电极层(24)、支撑层(22)、第二柔性衬底(21)、压力敏感层(23)以及柔性封装层(20)组成,所述第二柔性衬底(21)的下表面安装有压力敏感层(23),所述第一柔性衬底(25)的上表面安装有柔性电极层(24),所述压力敏感层(23)与柔性电极层(24)通过两侧的支撑层(22)连接,所述柔性封装层(20)覆盖于第一柔性衬底(25)与第二柔性衬底(21)的边缘。

7.根据权利要求1所述的一种平整度智能检测装置,其特征在于:所述第一纳米柔性薄膜压力传感器(7)与信号处理模块(26)电性相连,所述信号处理模块(26)与显示模块(27)电性连接,所述电源(28)与第一纳米柔性薄膜压力传感器(7)、信号处理模块(26)和显示模块(27)分别连接。

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