[发明专利]一种热电防护一体化薄膜结构在审
| 申请号： | 201811577559.5 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109786951A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 周晖;赵栋才;郑军;李学磊;马占吉;武生虎 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01Q1/38 | 分类号： | H01Q1/38;H01Q1/36;H01Q1/00;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张洁;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防护 热电 一体化薄膜 导电层 防护层 过渡层 薄膜 天线 空间环境 微波传输 卫星天线 静电 氧化硅 氧化铝 基底 一体化 | ||
【权利要求书】：
1.一种热电防护一体化薄膜，其特征在于：所述薄膜由依次位于天线基底(5)上的过渡层(4)、导电层(3)、热控层(2)和防护层(1)组成；
过渡层(4)的材料为Cr或Ti；
导电层(3)的材料为Au、Ag、Cu或Al；
热控层(2)的材料为氧化硅或氧化铝；
防护层(1)的材料为Ge。
2.如权利要求1所述的一种热电防护一体化薄膜，其特征在于：所述过渡层(4)的厚度为80～120nm。
3.如权利要求1所述的一种热电防护一体化薄膜，其特征在于：所述导电层(3)厚度大于等于相应传输波段下的导电层材料趋肤深度的2倍。
4.如权利要求1所述的一种热电防护一体化薄膜，其特征在于：所述热控层(2)的厚度根据发射率要求进行选择。
5.如权利要求1所述的一种热电防护一体化薄膜，其特征在于：所述防护层(1)的厚度为几十纳米量级。
6.如权利要求1所述的一种热电防护一体化薄膜，其特征在于：所述防护层(1)的厚度为20～50nm。
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