[发明专利]一种薄膜类产品生产线及薄膜类产品生产方法在审
申请号: | 201811577704.X | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN111354666A | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 彭侃;李建 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 类产品 生产线 生产 方法 | ||
1.一种薄膜类产品生产线,其特征在于,在流转方向上,设置有移动设备以及多台工艺设备;
所述移动设备能够沿所述流转方向将产品自上一所述工艺设备转移至下一所述工艺设备,以实现所述产品沿所述流转方向的流转。
2.根据权利要求1所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,沿所述流转方向包括至少两条具有设定方向的流水线,所述流水线顺次首尾相接,以形成所述生产线。
3.根据权利要求2所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,所述移动设备包括拾取装置和移动装置;
所述拾取装置,抓取和/或释放所述产品;
所述移动装置,带动所述拾取装置沿所述设定方向移动。
4.根据权利要求3所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,所述移动装置包括驱动组件、导轨和移动支架;
所述导轨沿所述设定方向设置于所述工艺设备的上方;
所述移动支架的一端可移动地连接于所述导轨;
所述拾取装置设置于所述移动支架的另一端;
所述驱动组件,驱动所述移动支架在所述导轨上移动。
5.根据权利要求3所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,所述拾取装置包括气缸、吸附座以及吸盘;
所述气缸的固定端连接于所述移动装置的另一端;
所述吸附座连接于所述气缸的活动端;
所述吸盘设置于所述吸附座上,所述吸盘的吸附面朝向所述工艺设备。
6.根据权利要求5所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,所述气缸的数量为一个,所述气缸的固定端连接于所述移动装置;所述气缸的活动端连接有一个所述吸附座;所述吸附座上设置有一个所述吸盘,所述吸盘的吸附面朝向所述工艺设备;或,
所述气缸的数量为多个,每个所述气缸的固定端均连接于所述移动装置;每个所述气缸的活动端连接有多个所述吸附座;每个所述吸附座上设置有多个所述吸盘,多个所述吸盘的吸附面均朝向所述工艺设备;或,
所述气缸的数量为多个,每个所述气缸的固定端均连接于所述移动装置;多个所述气缸的活动端均连接同一个所述吸附座;所述吸附座上设置有多个所述吸盘,多个所述吸盘的吸附面均朝向所述工艺设备。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,还包括中央控制器;
所述中央控制器分别通信连接所述工艺设备和所述移动设备,以使所述中央控制器根据所述工艺设备发来的工作状态控制所述移动设备沿所述流转方向将产品自上一所述工艺设备转移到下一所述工艺设备。
8.根据权利要求1所述的薄膜类产品生产线,其特征在于,相邻的所述工艺设备之间设置有用于暂时放置产品的暂存工作台。
9.一种薄膜类产品的生产方法,其特征在于,采用如权利要求1-8中任一项所述薄膜类产品生产线,包括以下步骤:
所述移动设备移走在上一所述工艺设备上完成加工的产品;
确认下一所述工艺设备的工作状态;
若下一所述工艺设备处于空闲状态,则所述移动设备将所述产品放置于下一所述工艺设备上,以将所述产品自上一所述工艺设备转移至下一所述工艺设备。
10.根据权利要求9所述的薄膜类产品的生产方法,其特征在于,所述确认下一所述工艺设备的工作状态之后,所述方法还包括:
若下一所述工艺设备处于忙碌状态,则在下一所述工艺设备对所述产品加工完成后,所述移动设备将所述产品放置于下一所述工艺设备上,以将所述产品自上一所述工艺设备转移至下一所述工艺设备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造