[发明专利]一种多波段分时段光学曝光装置及方法

权利要求书

1.一种多波段光学曝光装置，其特征在于，所述多波段光学曝光装置包括至少两组曝光子系统，每组曝光子系统匹配不同波长范围的光源和对应不同波长范围的空间光调制器，每组曝光子系统根据各自所匹配的波长的光源对待曝光基板进行曝光时所需要的时间间隔设置在多波段光学曝光装置扫描方向上不同的位置处。

2.根据权利要求1所述的多波段光学曝光装置，其特征在于，所述每组曝光子系统的曝光输出能量可调。

3.根据权利要求1或2所述的多波段光学曝光装置，其特征在于，所述每组曝光子系统至少包括两路光路。

4.根据权利要求3所述的多波段光学曝光装置，其特征在于，所述多波段光学曝光装置还包括运动平台；所述运动平台用于实现待曝光基板在单方向上、平面上或者空间位置上的移动。

5.根据权利要求3所述的多波段光学曝光装置，其特征在于，所述多波段光学曝光装置还包括标定结构，所述标定结构用于对不同曝光子系统以及各曝光子系统中的各个光路进行单方向上、平面上或者空间位置上进行标定以实现不同的曝光子系统对待曝光基板曝光时形成的图形重叠在同一位置。

6.根据权利要求5所述的多波段光学曝光装置，其特征在于，所述标定结构包括至少两个用来标定的相机，所述用来标定的相机的数目根据每组曝光子系统的光路的数量以及各光路间距确定。

7.根据权利要求6所述的多波段光学曝光装置，其特征在于，所述每组曝光子系统还包括照明光路和成像光路，所述照明光路用于将不同波长范围的光源所发出的光进行均匀化整形，以满足所述空间光调制器的照明需求；所述成像光路用于将所述空间光调制器所显示的图形按照预定比例投放至待曝光基板上。

8.一种多波段光学曝光方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1-7任一所述的多波段光学曝光装置，所述方法包括：

根据待曝光基板曝光时所需波长范围选择曝光过程中所需的曝光子系统；

将待曝光基板送至位于多波段光学曝光装置扫描方向上不同的位置处的不同的曝光子系统进行曝光；

每组曝光子系统匹配不同波长范围的光源和对应不同波长范围的空间光调制器，每组曝光子系统根据各自所匹配的波长的光源对待曝光基板进行曝光时所需要的时间间隔设置在多波段光学曝光装置扫描方向上不同的位置处。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述将待曝光基板送至位于多波段光学曝光装置扫描方向上不同的位置处的不同的曝光子系统进行曝光之前，还包括：

确定每组曝光子系统曝光时的曝光输出能量和采用标定结构对不同曝光子系统以及各曝光子系统中的各个光路进行单方向上、平面上或者空间位置上的标定以实现不同的曝光子系统对待曝光基板曝光时形成的图形重叠在同一位置。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据每组曝光子系统的光路的数量以及各光路间距确定标定结构所包括的用来标定的相机的数目。