[发明专利]沉积装置

权利要求书

1.一种沉积装置，包括：

掩模支撑部，用于支撑掩模，在所述掩模的上方配置基板；

紧贴部，设置在所述基板的上方且能沿上下方向移动，所述紧贴部用于对所述基板进行加压以使所述基板与所述掩模紧贴；及

第一磁化部，设置在所述基板和所述紧贴部之间，

所述紧贴部包括位于所述第一磁化部的上方的多个磁铁，

所述多个磁铁沿与上下方向交叉的方向排列，

所述第一磁化部沿与所述多个磁铁的排列方向平行的方向移动，

当所述第一磁化部位于与所述多个磁铁对应的位置时，所述第一磁化部提供极性与对应位置的磁铁的极性相同的磁力，从而将所述掩模中与所述第一磁化部相对的上部表面磁化为与对应位置的磁铁的极性相反的极性。

2.根据权利要求1所述的沉积装置，其中，

所述第一磁化部向所述掩模支撑部交替提供极性彼此相反的磁力。

3.根据权利要求2所述的沉积装置，其中，

所述多个磁铁包括用于提供极性相反的磁力的第一磁铁及第二磁铁。

4.根据权利要求3所述的沉积装置，其中，

所述第一磁铁和所述第二磁铁交替排列。

5.根据权利要求4所述的沉积装置，其中，

当所述第一磁化部位于与所述第一磁铁对应的位置时，所述第一磁化部提供极性与所述第一磁铁的极性相同的磁力，

当所述第一磁化部位于与所述第二磁铁对应的位置时，所述第一磁化部提供极性与所述第二磁铁的极性相同的磁力。

6.根据权利要求1所述的沉积装置，其中，

进一步包括第二磁化部，所述第二磁化部以与所述第一磁化部相对的方式位于所述掩模支撑部的下侧。

7.根据权利要求1所述的沉积装置，其中，

进一步包括第一导向部及第二导向部，所述第一导向部及所述第二导向部设置为隔着所述第一磁化部彼此相对，并且与所述第一磁化部连接。

8.根据权利要求1所述的沉积装置，其中，

所述第一磁化部包括电磁铁。

9.根据权利要求1所述的沉积装置，

进一步包括设置在所述掩模支撑部的下侧的沉积源，所述紧贴部进一步包括加压板。