[发明专利]基板叠层检测装置在审
| 申请号： | 201811581078.1 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109490982A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李晓明;李长团;陈焕新 | 申请（专利权）人： | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/12 | 分类号： | G01V8/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李文渊 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙华区观湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 距离检测装置 基板 叠层 检测装置 基板表面 夹具平台 处理器 夹具 基板夹持 距离判断 信号连接 有效检测 多片 申请 检测 | ||
1.一种基板叠层检测装置，用于检测置于夹具平台的基板是否叠层，其特征在于，包括：
距离检测装置(100)，设置于所述夹具平台靠近所述基板的一侧，用于检测所述距离检测装置(100)与所述基板表面之间的距离；
处理器(200)，与所述距离检测装置(100)信号连接，用于根据所述距离检测装置(100)与所述基板表面之间的距离判断置于所述夹具平台的所述基板是否叠层。
2.根据权利要求1所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述距离检测装置(200)为激光位移传感器。
3.根据权利要求2所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述距离检测装置(100)包括：
检测探头(110)；
通讯机构(120)，与所述检测探头(110)和所述处理器(200)信号连接，用于传输所述检测探头(110)与所述处理器(200)之间的通讯信号；
电源(130)，与所述检测探头(110)和所述通讯机构(120)电连接，用于向所述检测探头(110)和所述通讯机构(120)供电。
4.根据权利要求3所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述检测探头(110)包括：
激光发射器(111)，与所述电源(130)电连接，用于向所述基板表面发射激光；
激光接收器(112)，与所述电源(130)电连接，用于接收经所述基板表面反射的激光；
距离测算器(113)，与所述激光发射器(111)、所述激光接收器(112)及所述通信机构(120)信号连接，与所述电源(130)电连接，用于根据所述激光发射器(111)发射激光的时间和所述激光接收器(112)接收激光的时间计算所述检测探头(110)与所述基板表面之间的距离。
5.根据权利要求3或4所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述通讯机构(120)包括串口转换器(121)。
6.根据权利要求3或4所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述电源(130)包括开关电源(131)，所述开关电源(131)与所述检测探头(110)和所述通讯机构(120)电连接。
7.根据权利要求1所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述距离检测装置(100)与所述夹具平台之间的距离为42mm-52mm。
8.根据权利要求1所述的基板叠层检测装置，其特征在于，还包括：
报警器(300)，与所述处理器(200)信号连接，用于当置于所述夹具平台的所述基板叠层时报警。
9.根据权利要求8所述的基板叠层检测装置，其特征在于，所述报警器(300)为灯光报警器。
10.根据权利要求1所述的基板叠层检测装置，其特征在于，还包括：
显示装置(400)，与所述处理器(200)信号连接。
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