[发明专利]载板和镀膜设备

说明书

本公开提供一种载板和镀膜设备，所述载板上设置有至少一个镂空槽，每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。应用本公开所述载板及镀膜设备在镀膜过程中无需翻转硅片，也就无需重复破真空，从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响，减少了硅片受污染的几率，而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良等问题，不仅能改善电池片的膜层质量，还能减少电池片制备时间，从而提高工作效率。

技术领域

本公开涉及镀膜工艺技术领域，具体涉及一种用于镀膜加工的载板，以及一种镀膜设备。

背景技术

受到现有镀膜载板结构的限制，镀膜设备生产双面太阳能电池片时所采用的镀膜工艺为单面镀膜工艺。具体地，镀膜设备包括多个腔室，其中每个腔室顶部均设置有相应的靶材，相邻腔室间由真空门隔开，腔室外设置有自动翻片机。当硅片在一个腔室内镀上相应膜层后，需要打开真空门以破真空，再通过自动翻片机将硅片翻转并放入相邻下一腔室内，然后对该相邻下一腔室抽真空处理，并镀上相应膜层，以此类推，直至双面太阳能电池片制备完成。

可以看出，现有双面太阳能电池片的制备工艺中，为了翻转硅片而需要重复破真空，使得硅片在整个制程频繁受空气暴露影响；而且，不同膜层间的沉积因其本身的化学特性，必须往复翻片后按序制备，繁杂且耗时长，由此极易导致硅片表面出现机械损伤或者受污染。

发明内容

为了至少部分解决现有技术中存在的为翻转硅片而重复破真空的技术问题而完成了本公开。

解决本公开技术问题所采用的技术方案是：

本公开提供一种载板，用于镀膜加工，所述载板上设置有至少一个镂空槽，每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。

本公开中，各个硅片(或者其他类型的基板)分别放入载板内的各个镂空槽内之后，因受到镂空槽内支撑构件的支撑而不会从镂空槽中掉出，同时还能使硅片的上、下表面的绝大部分露出，则利用该载板制备双面太阳能电池片时，可采用双面镀膜工艺，无需翻转硅片和重复破真空，就能在一个镀膜腔室里完成硅片的双面镀膜，即在硅片的上、下表面镀上所需材质和厚度的膜层。可以看出，由于在镀膜过程中无需翻转硅片，也就无需重复破真空，从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴露影响，减少了硅片受污染的几率，而且改善了因现有制备双面太阳能电池片工序繁琐而带来的电池片制备效率低下、电性能不良等问题，不仅能改善电池片的膜层质量，还能减少电池片制备时间，从而提高工作效率。

可选地，所述支撑构件是从所述镂空槽内壁并向所述镂空槽中心延伸的突出部。

可选地，所述突出部为设置在所述镂空槽内壁底部的台阶状构件。

可选地，所述台阶状构件包括与所述镂空槽的内壁相接的过渡面，以及与所述过渡面相接的斜坡面；所述斜坡面向接近于所述镂空槽中心的方向延伸。

可选地，所述载板包括外边框，以及设置在所述外边框内部的多个横条和多个纵条；所述多个横条和所述多个纵条交叉设置以形成所述多个镂空槽。

可选地，所述外边框、所述多个横条和所述多个纵条一体成型；或者，所述横条的两端分别与所述外边框的两个相对内壁活动连接，所述纵条的两端分别与所述外边框的另外两个相对内壁活动连接，每个所述横条和与之交叉的所述纵条活动连接。

可选地，所述载板包括外边框，以及设置在所述外边框内部的多个纵条；所述外边框与所述多个纵条分隔成所述多个镂空槽。

可选地，所述外边框和所述多个纵条一体成型；或者，

所述纵条的两端分别与所述外边框的两个相对内壁活动连接。