[发明专利]对准装置、光刻装置和物品制造方法

权利要求书

1.一种通过检测设置在基板上的标记来执行基板的对准的对准装置，其特征在于，所述装置包括：

台架，被配置为在保持基板的同时移动；

成像设备，被配置为捕捉由台架保持的基板上的标记的图像；和

处理器，被配置为基于通过成像设备捕捉的标记的图像获得标记的位置，

其中，成像设备包含：

图像传感器，被配置为通过光电转换蓄积电荷；和

帧存储器(FMEM)，被配置为暂时存储基于通过图像传感器蓄积的电荷获得的图像数据的至少一帧，

第一传送单元(TR1)，被配置为将通过图像传感器获得的图像数据的一帧传送到帧存储器；和

第二传送单元(TR2)，被配置为将从帧存储器读出的图像数据的一帧传送到处理器，

其中，第一传送单元的数据传送速度比第二传送单元的数据传送速度高，并且第一传送单元和第二传送单元异步地操作，

其中，成像设备被配置为：即使没有完成经由第二传送单元的图像数据的一帧到处理器的传送，只要图像传感器执行了电荷的蓄积并且完成了经由第一传送单元的通过蓄积获得的图像数据的一帧到帧存储器的传送，就开始下一次图像捕捉，以及

其中，当在移动台架的同时在多个位置处通过使用成像设备捕捉标记的图像时，对准装置与经由第一传送单元的图像数据的一帧向帧存储器的传送同时地为下一次图像捕捉移动台架。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，在移动台架的同时在多个位置处通过成像设备捕捉标记的图像，并且，处理器评估各位置处的台架的对准状态。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，在执行逐步移动台架以逐步改变图像传感器与台架之间的距离的步进移动的同时，成像设备捕捉各步进位置处的标记的图像，并且，处理器评估各步进位置处的标记的图像的聚焦状态作为对准状态。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，在经由第一传送单元的图像数据的一帧向帧存储器的传送时段内，执行步进移动。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，使得步进移动所花费的时间与经由第一传送单元的图像数据的一帧向帧存储器的传送时段一致。

6.根据权利要求3所述的装置，其中，在步进移动所花费的时间与通过图像传感器的电荷的蓄积时段的总时间不超过经由第二传送单元的图像数据的一帧从帧存储器向处理器的传送时段的范围内，步进移动所花费的时间被最大化。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，当设置在基板上的不同位置处的多个标记要被检测时，成像设备捕捉所述多个标记中的第一标记的图像，并且，在通过图像捕捉获得的第一标记的图像数据经由第一传送单元向帧存储器的传送时段期间，台架为了成像设备对所述多个标记中的第二标记的图像捕捉开始移动。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，当设置在基板上的不同位置处的多个标记要被检测时，成像设备多次捕捉所述多个标记中的第一标记的图像，并且，在通过多次图像捕捉中的最后图像捕捉获得的第一标记的图像数据经由第一传送单元被传送到帧存储器的传送时段期间，台架为了成像设备对所述多个标记中的第二标记的图像捕捉开始移动。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，

第一传送单元包含与成像设备安装在同一电路板上的专用数据总线；并且

第二传送单元包含符合通信标准的数据总线。

10.根据权利要求1所述的装置，还包括被配置为控制通过成像设备的图像捕捉的控制器，

其中，成像设备包含被配置为向控制器通知下一次图像捕捉就绪的通知单元，以及

控制器基于来自通知单元的通知控制通过成像设备的下一次图像捕捉的开始定时。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，帧存储器包含在存储区域满时用最新图像数据覆写最老的图像数据的环形缓冲器。