[发明专利]微型光纤压力传感器及其制造方法、压力传感系统

权利要求书

1.一种微型光纤压力传感器，其特征在于：包括套管、滑动光纤、传输光纤，所述套管具有沿延伸方向贯穿的通孔，所述滑动光纤滑动配合地设置在所述通孔中，所述传输光纤的一端固定地穿设在所述通孔中且相对所述套管固定设置，所述套管远离所述传输光纤的一端设置有由弹性材料制成的封套，所述滑动光纤的一端固定连接在所述封套上、另一端的端面为滑动反射面，所述传输光纤靠近所述滑动光纤的端面为固定反射面，所述滑动反射面与所述固定反射面相互平行且存在间距，该间距构成法珀腔。

2.根据权利要求1所述的一种微型光纤压力传感器，其特征在于：所述滑动反射面和/或所述固定反射面镀有反射膜。

3.根据权利要求1所述的一种微型光纤压力传感器，其特征在于：所述套管由玻璃、不锈钢、高分子材料中的任一种材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种微型光纤压力传感器，其特征在于：所述滑动反射面与所述固定反射面的间距在20~100μm之间。

5.根据权利要求1所述的一种微型光纤压力传感器，其特征在于：所述滑动光纤和所述传输光纤的直径在100~500μm之间，所述通孔的直径比所述滑动光纤的直径大10~30μm。

6.一种制造如权利要求1至5任一项所述的微型光纤压力传感器的方法，其特征在于：

步骤1：准备套管，检查套管端面平整性，进行超声、去离子水清洗；

步骤2：将封套安装在套管的一端；

步骤3：将滑动光纤的一端部点胶，并使得该端部朝内地将滑动光纤放入通孔中，将滑动光纤顶至通孔的另一端，使得滑动光纤与封套粘接；

步骤4：传输光纤的一端伸入至通孔内，根据设计需求，调节传输光纤的位置；

步骤5：当滑动反射面与固定反射面的间距满足了设计需求时，在传输光纤与套管端部的连接处进行固定处理。

7.根据权利要求6所述的制造微型光纤压力传感器的方法，其特征在于：套管完成清洗后，将其一端浸入可固化的高分子溶液中，当所述高分子溶液在毛细作用力下进入套管内后，将套管取出，随后对套管上的高分子溶液进行固化，形成固态封套。

8.根据权利要求6所述的制造微型光纤压力传感器的方法，其特征在于：所述封套与所述套管连接处点胶处理。

9.根据权利要求6所述的制造微型光纤压力传感器的方法，其特征在于：所述传输光纤与套管端部的连接处通过点胶的方式固定、或通过光纤熔接机进行熔接固定。

10.一种压力传感系统，其特征在于：包括如权利要求1至5任一项所述的微型光纤压力传感器、以及与所述微型光纤压力传感器连接的解调系统。