[发明专利]高效率六自由度并联机器人精密测试装置

权利要求书

1.一种高效率六自由度并联机器人精密测试装置，其特征在于，包括：

双频激光干涉仪，其提供水平的稳频激光；

分光镜，其设置于所述稳频激光的光路上，以将所述稳频激光分为三维正交的三束激光束，三束激光束中包括二束水平激光束；

立方棱镜，其设置于待测六自由度并联机器人的动平台中心，且位于一束水平激光束的光路上，另外两束激光束各通过两转折镜照射至所述立方棱镜的镜面上，且三束激光束分别与所述立方棱镜三个相互正交的镜面垂直，三束激光束的最后一段直线光路上各设置有一干涉镜，以将每束激光束分为两路同方向的相干激光；

自准直光管，其光路与所述立方棱镜未被三束激光束照射的一个镜面垂直；

其中，待测六自由度并联机器人设置于一个一维大转台上，所述一维大转台设置于一调整台上，以对一维大转台进行角度微调。

2.如权利要求1所述的高效率六自由度并联机器人精密测试装置，其特征在于，还包括：

六维串联调整机构，其由一个升降台、两个平移台、两个俯仰台、一个一维小转台从下往上顺次搭接组成；

其中，所述双频激光干涉仪、分光镜、自准直光管以及每一转折镜各设置于一六维串联调整机构的一维小转台上。

3.如权利要求2所述的高效率六自由度并联机器人精密测试装置，其特征在于，分光镜分出的三束激光束中一束沿原稳频激光的光路射出，另一束沿与原稳频激光光路水平垂直的方向射出，第三束沿竖直向上射出。

4.如权利要求3所述的高效率六自由度并联机器人精密测试装置，其特征在于，改变竖直向上射出的激光束光路的两转折镜的六维串联调整机构分别倒置固设在两支撑架上。

5.如权利要求4所述的高效率六自由度并联机器人精密测试装置，其特征在于，所述双频激光干涉仪与分光镜和自准直光管各自所在的六维串联调整机构、改变两束水平激光束的每一转折镜所在的六维串联调整机构、所述调整台以及两支撑架均设置于一光学平台上。

6.如权利要求5所述的高效率六自由度并联机器人精密测试装置，其特征在于，所述光学平台为气浮平台。