[发明专利]多功能X射线成像装置在审
申请号: | 201811588689.9 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109444183A | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 郑健;唐杰;陈安平;袁刚;马昌玉;刘兆邦 | 申请(专利权)人: | 苏州斯玛维科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/046 | 分类号: | G01N23/046 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 韩飞 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探测器 位移驱动机构 位置调节 样品台 成像分辨率 运动控制器 层析成像 待测零件 断层成像 探测器组 位置调整 自由选择 底座 二维 两套 成像 工作站 摄影 | ||
本发明公开了一种多功能X射线成像装置,包括工作站、运动控制器和多功能X射线成像装置本体;多功能X射线成像装置本体包括底座、X射线源位移驱动机构、样品台位移驱动机构、探测器位移驱动机构、X射线源组、样品台及探测器组。本发明的多功能X射线成像装置包含两套X射线源和探测器,可根据待测零件密度、零件尺寸及成像分辨率要求自由选择对应的X射线源和探测器组合,X射线源可沿Y轴和Z轴方向进行位置调节,探测器可沿X轴、Y轴和Z轴方向进行位置调节,同时X射线源和探测器在Y轴和Z轴方向可进行位置调整,设备可根据成像需要进行二维摄影、层析成像和断层成像。
技术领域
本发明涉及X射线成像技术领域,特别涉及一种多功能X射线成像装置。
背景技术
现有工业X射线成像装置仅包括一套X射线源和探测器,X射线源的最大能量及功率、探测器的分辨率及尺寸固定,限制了工业X射线成像装置功能的扩展。同时现有设备X射线源和探测器仅可沿Z轴方向进行位置调整,仅具有二维摄影和断层成像功能,不具备层析成像功能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种多功能X射线成像装置。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种多功能X射线成像装置,包括工作站、运动控制器和多功能X射线成像装置本体;
所述多功能X射线成像装置本体包括底座、沿X轴方向依次设置在所述底座上的X射线源位移驱动机构、样品台位移驱动机构、探测器位移驱动机构、设置在所述X射线源位移驱动机构上的X射线源组、设置在所述样品台位移驱动机构上的样品台及设置在所述探测器位移驱动机构上的探测器组;
其中,所述X射线源位移驱动机构用于驱动所述X射线源组沿Y轴和Z轴方向移动,所述样品台位移驱动机构用于驱动所述样品台沿X轴、Y轴和Z轴方向移动及绕Z轴做旋转运动,所述探测器位移驱动机构用于驱动所述探测器组沿X轴、Y轴和Z轴方向移动。
优选的是,所述X射线源位移驱动机构包括设置在所述底座上的射线源立柱、设置在所述射线源立柱上的射线源Z轴平移台及设置在所述射线源Z轴平移台上的射线源Y轴平移台。
优选的是,所述探测器位移驱动机构包括设置在所述底座上的探测器X轴平移台、设置在所述探测器X轴平移台上的探测器立柱、设置在所述探测器立柱上的探测器Z轴平移台及沿Z轴方向依次设置在所述探测器Z轴平移台上的第一探测器Y轴平移台和第二探测器Y轴平移台。
优选的是,所述X射线源组包括沿Y轴方向依次设置在所述射线源Y轴平移台上的第一X射线源和第二X射线源,且两者的焦点的Z轴方向的高度相同;
所述探测器组包括分别设置在所述第一探测器Y轴平移台和第二探测器Y轴平移台上的第一探测器和第二探测器。
优选的是,所述样品台位移驱动机构包括设置在所述底座上的样品台X轴平移台、设置在所述样品台X轴平移台上的样品台Y轴平移台、设置在所述样品台Y轴平移台上的样品台Z轴升降台及设置在所述样品台Z轴升降台上的样品台转台,所述样品台设置在所述样品台转台上。
优选的是,所述射线源Y轴平移台上还设置有射线源Y向激光器、第一射线源Z向激光器和第二射线源Z向激光器;所述射线源Y向激光器与所述第一X射线源和第二X射线源的焦点的Z轴坐标均相同,所述第一射线源Z向激光器与所述第一X射线源的焦点的Y轴坐标相同,所述第二射线源Z向激光器与所述第二X射线源的焦点的Y轴坐标相同。
优选的是,所述射线源Y轴平移台、射线源Z轴平移台、第一探测器Y轴平移台、第二探测器Y轴平移台、探测器Z轴平移台、探测器X轴平移台、样品台转台、样品台Z轴升降台、样品台Y轴平移台和样品台X轴平移台上均设置有零位光电开关;
所述底座的底部设置有多个地脚,所述地脚包括高度调节脚和脚轮。
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