[发明专利]超高均匀度高温箱

权利要求书

1.一种超高均匀度高温箱，其特征在于：包括外箱体、内箱体、热源和气流循环装置；

所述内箱体设置于外箱体内，且内箱体的外侧壁和外箱体的内侧壁之间具有间隙，该间隙形成热气流循环通道，所述内箱体底部设置有隔板，所述内箱体底部向内箱体的内部凹陷形成倒漏斗状的容纳空间，所述隔板与内箱体底部及内箱体内侧壁间均设置有间距，所述隔板和内箱体的内底部之间设置热源，所述内箱体的底部设置有将内箱体内外连通的通孔，所述通孔位于容纳空间的顶部，所述气流循环装置包括动力风机、阻风风机和驱动装置，所述气流循环装置的动力风机设置于容纳空间内，且动力风机的进风口正对通孔，所述动力风机的进风口与通孔之间设置有集风器，所述集风器的进风口与所述通孔固定连接，所述集风器的导流圈与动力风机的进风口连接；所述内箱体顶部设置有气流循环孔；所述气流循环装置的驱动装置设置于外箱体外部，所述动力风机与所述驱动装置的动力输出转轴同轴固定连接，所述阻风风机与所述驱动装置的动力输出转轴同轴固定连接，所述阻风风机设置于靠近驱动装置的一端，且阻风风机的进风口与动力风机的进风口反向设置。

2.根据权利要求1所述的超高均匀度高温箱，其特征在于：所述热源绕内箱体底部的通孔周向布置形成环形，所述热源形成的环形的周长大于内箱体底部的通孔的周长，所述热源形成的环形与所述内箱体底部的通孔共轴线。

3.根据权利要求1所述的超高均匀度高温箱，其特征在于：所述隔板设置有气流循环孔。

4.根据权利要求1所述的超高均匀度高温箱，其特征在于：所述内箱体底部四角分别设置有与所述高温箱外部空间连通的穿线孔和压力平衡孔。