[发明专利]一种静电检测方法及装置有效
申请号: | 201811591979.9 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109683028B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 孙卫星;杨庆瑞;李鹏 | 申请(专利权)人: | 上海安平静电科技有限公司 |
主分类号: | G01R29/12 | 分类号: | G01R29/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201109 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 静电 检测 方法 装置 | ||
1.一种静电检测方法,其特征在于,包括:
根据非接触式静电传感器与被测物体之间的当前检测距离,确定在当前检测距离下第一信号的量程,其中,所述第一信号包括静电检测过程中生成的中间信号或静电压检测值;
在所述第一信号大于或等于所述第一信号的量程时,进行报警;
其中,在根据非接触式静电传感器与被测物体之间的当前检测距离,确定在当前检测距离下第一信号的量程之前,还包括:
将与标准直流高压源电连接的标准检测平板作为模拟被测物体,在任一检测距离下逐步增大所述标准直流高压源的电压,以得到对应的第一信号的量程;
调整检测距离,直至得到多种检测距离对应的第一信号的量程,并建立检测距离与第一信号的量程的对应关系,
若所述第一信号为非接触静电传感器获得的静电感应电荷信号,在一固定的检测距离下,将标准直流高压源的输出电压逐步增大,在未达到静电感应电荷信号的量程时,静电感应电荷信号与一恒定修正系数的乘积等于标准直流高压源的输出电压;在达到静电感应电荷信号的量程以后,静电感应电荷信号与该恒定修正系数的乘积不等于标准直流高压源的输出电压,由此得到在该检测距离下的对应的静电感应电荷信号的量程;
或者,若所述第一信号为静电压检测值,在一固定的检测距离下,将标准直流高压源的输出电压逐步增大,在未达到静电压检测值的量程时,由非接触静电传感器获得的静电感应电荷信号与一恒定修正系数的乘积得到的静电压检测值,等于标准直流高压源的输出电压;在达到静电压检测值的量程以后,由静电感应电荷信号与该恒定修正系数的乘积得到的静电压检测值,不等于标准直流高压源的输出电压,由此得到在该检测距离下的对应的静电压检测值的量程。
2.根据权利要求1所述的静电检测方法,其特征在于,所述第一信号为通过所述非接触式静电传感器在当前检测距离下获取的静电感应电荷信号;
在所述第一信号大于或等于所述第一信号的量程时,进行报警之前,还包括:
获取非接触式静电传感器在当前检测距离下的静电感应电荷信号。
3.根据权利要求2所述的静电检测方法,其特征在于,还包括:
在所述第一信号小于所述第一信号的量程时,根据所述当前检测距离和所述静电感应电荷信号,确定被测物体的静电压检测值。
4.根据权利要求1所述的静电检测方法,其特征在于,所述第一信号为静电压检测值;
在所述第一信号大于或等于所述第一信号的量程时,进行报警之前,还包括:
获取非接触式静电传感器在当前检测距离下的静电感应电荷信号;
根据所述当前检测距离和所述静电感应电荷信号,确定被测物体的静电压检测值。
5.根据权利要求4所述的静电检测方法,其特征在于,还包括:在所述第一信号小于所述第一信号的量程时,保存并显示所述被测物体的静电压检测值。
6.根据权利要求2或4所述的静电检测方法,其特征在于,还包括:
在所述第一信号大于或等于所述第一信号的量程时,增大检测距离,之后返回执行:获取非接触式静电传感器在当前检测距离下的静电感应电荷信号的操作。
7.根据权利要求3或4所述的静电检测方法,其特征在于,根据所述当前检测距离和所述静电感应电荷信号,确定被测物体的静电压检测值包括:
根据所述当前检测距离,确定修正系数;
将所述静电感应电荷信号与所述修正系数的乘积作为被测物体的静电压检测值。
8.根据权利要求7所述的静电检测方法,其特征在于,在根据所述当前检测距离,确定修正系数之前,还包括:
将与标准直流高压源电连接的标准检测平板作为模拟被测物体,在多种检测距离下进行校准,以得到对应的修正系数,并建立检测距离与修正系数的对应关系。
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