[发明专利]一种LED蓝宝石衬底除蜡除颗粒清洗剂、制备方法、用途及清洗方法

说明书

本发明涉及一种LED蓝宝石衬底除蜡除颗粒清洗剂，所述清洗剂包括高支链化润湿剂、乳化剂、消泡剂、高分子共聚分散剂、金属螯合剂、有机胺助剂和超纯水，还涉及所述清洗剂的制备方法、用途和使用该清洗剂的除蜡除颗粒清洗方法。所述LED蓝宝石衬底除蜡除颗粒清洗剂通过特定的组份选择和相互之间的协同促进，从而具有优异的储存稳定性、除蜡和颗粒杂质清除性能，且不含各种有害物质，环境友好，在LED技术领域具有良好的工业应用前景和推广潜力。

技术领域

本发明涉及一种LED元器件清洗剂，特别地涉及一种LED蓝宝石衬底除蜡除颗粒清洗剂及其合成方法和用途，属于光电子器件的电子清洗领域。

背景技术

随着LED行业的发展，芯片衬底逐步向大尺寸、高品质方向发展。其中，蓝宝石晶片是当前LED工业首选的衬底片，其表面精密加工质量和洁净度对LED器件的性能和质量有着非常重要的影响，因此对蓝宝石衬底片的表面质量要求越来越严。

在蓝宝石衬底片的实际加工过程中，一般采用化学机械抛光技术使晶片表面成为平整、无损伤的镜面，目前常用的抛光方式是有蜡抛光，该抛光需要将较薄的晶片完全固定在基板上，具有在抛光过程中不易碎片的优点。

在晶片抛光后，需要进一步对其表面进行粘贴蜡、抛光膏等杂质的去除清洗，以得到符合质量要求的洁净蓝宝石晶片。若清洗不干净，则会严重影响LED的质量和成品率。

目前，常用的清洗除蜡方法通常需要使用卤代烃溶剂如三氯甲烷等，卤代烃溶剂具有清洗效果好、成本低的优点，但缺点在于对人体有害，且对大气臭氧层破坏严重，已经日益受到严格的控制；此外还可以使用氢氟酸、硫酸、双氧水等酸、氧化性化学试剂进行清洗，但这些化学物质对有机物和颗粒的去除能力较弱，且容易对操作者的安全产生一定程度的潜在威胁，环境污染更为严重。

因此，对于除蜡清洗方法的研究具有非常重要的意义，也正是在该趋势的推动之下，人们研发出了大量的除蜡清洗组合物和清洗方法，例如：

CN101974377A公开了一种LED砷化镓衬底基片去蜡清洗剂，按照重量百分比包括下列组成部分：有机溶剂5-10％，有机碱2-5％，表面活性剂5-10％，无机盐5-20％和余量的去离子水。其中，有机溶剂为烷烃、环烷烃或芳香烃溶剂；有机碱为多羟多胺、胺碱、羟胺或醇胺，表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、多元醇酯和高分子及元素有机化合物中的一种或多种，无机盐是碱性盐。所述LED砷化镓衬底基片去蜡清洗剂，能替代卤代烃溶剂，既能达到卤代烃溶剂的清洗效果，除蜡效果明显，又对砷化镓衬底基片无影响，而且制备工艺简单，满足环保要求。

CN102703238A公开了一种环保脱蜡剂及其制备方法，其组成及重量百分比为：磷酸盐1-5％；络合剂1-4％；五水偏硅酸钠0-3％；表面活性剂10-20％；溶剂5-20％；其余为蒸馏水。所述除蜡剂可以完全替代对环境有毒有害的氯代溶剂类脱蜡剂，通过多种表面活性剂、溶剂、碱性助剂、络合剂等的合理复配，达到剥离、乳化、溶解蜡、油污和金属氧化物的功能，使用安全、环保无毒，除蜡效率高，适合光学玻璃、不锈钢、铝等材质，对被清洗物无腐蚀，清洗后无残留，是理想的氯代溶剂的替代品。

CN102660746公开了一种除蜡剂，其主要成分含有壬基酚聚氧乙烯醚。壬基酚聚氧乙烯醚的乳化和清洗能力优越，但其降解产物对眼睛有刺激作用，并具有环境激素效应，这类激素可能导致性早熟，并在一定程度上会抑制雄性体征的发育，因此导致其存在对操作人员的巨大威胁。

本申请人的合作公司江苏奥首材料科技有限公司申请的专利申请CN103343060A公开了一种蓝宝石衬底片清洗液，所述清洗液包括氧化胺表面活性剂、含氟表面活性剂、有机磺酸盐、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、碱、络合剂、捕捉剂和纯水，其对蓝宝石衬底片具有优异的清洗洁净能力，能够彻底除去污染物，提高电子元件的洁净度；此外，所述清洗液具有制备简单、成本低廉、环境友好等诸多优点。