[发明专利]一种异性堆叠石墨烯的制备方法有效
申请号: | 201811592551.6 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109987597B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 陈达;李久荣;王刚;赵梦晗;胡绪瑞;朱伟 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 丁少华 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 异性 堆叠 石墨 制备 方法 | ||
1.一种异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤①:准备绝缘或半导体的衬底;
步骤②:在衬底的表面制备层状分布的镍层和掺杂碳源层,并且使得镍层和掺杂碳源层直接接触;
步骤③:对掺杂碳源层进行加热退火,使得碳融入到镍层中,然后进行降温,使得镍层的一侧生长掺杂石墨烯,另一侧生长纯石墨烯;
步骤④:退火蒸发镍层,使得掺杂石墨烯和纯石墨烯呈层状分布且相互接触;
步骤③中,掺杂碳源层的加热温度为800-900℃,并在800-900℃下保温2-15min,降温速率为25-30℃/min;
步骤②中,掺杂碳源层包括碳源层和掺杂层,碳源层位于掺杂层和镍层之间;
步骤②中,衬底的表面先旋涂掺杂液体形成掺杂层,再旋涂碳源液体形成碳源层,最后在碳源层表面电子束蒸发Ni形成镍层,形成衬底、掺杂层、碳源层和镍层的层状分布结构。
2.根据权利要求1所述的异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:步骤④完成后重复步骤②、步骤③和步骤④。
3.根据权利要求1所述的异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:所述掺杂碳源层中的掺杂元素为N、S、P和B中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:所述碳源液体为PMMA。
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