[发明专利]一种异性堆叠石墨烯的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811592551.6 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN109987597B 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 陈达;李久荣;王刚;赵梦晗;胡绪瑞;朱伟 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184
代理公司: 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 代理人: 丁少华
地址: 315211 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 异性 堆叠 石墨 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:

步骤①:准备绝缘或半导体的衬底;

步骤②:在衬底的表面制备层状分布的镍层和掺杂碳源层,并且使得镍层和掺杂碳源层直接接触;

步骤③:对掺杂碳源层进行加热退火,使得碳融入到镍层中,然后进行降温,使得镍层的一侧生长掺杂石墨烯,另一侧生长纯石墨烯;

步骤④:退火蒸发镍层,使得掺杂石墨烯和纯石墨烯呈层状分布且相互接触;

步骤③中,掺杂碳源层的加热温度为800-900℃,并在800-900℃下保温2-15min,降温速率为25-30℃/min;

步骤②中,掺杂碳源层包括碳源层和掺杂层,碳源层位于掺杂层和镍层之间;

步骤②中,衬底的表面先旋涂掺杂液体形成掺杂层,再旋涂碳源液体形成碳源层,最后在碳源层表面电子束蒸发Ni形成镍层,形成衬底、掺杂层、碳源层和镍层的层状分布结构。

2.根据权利要求1所述的异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:步骤④完成后重复步骤②、步骤③和步骤④。

3.根据权利要求1所述的异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:所述掺杂碳源层中的掺杂元素为N、S、P和B中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的异性堆叠石墨烯的制备方法,其特征在于:所述碳源液体为PMMA。

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