[发明专利]纳米机器人制作工艺

说明书

本发明公开了一种纳米机器人制作工艺，包括步骤：研磨清洗玻璃基板；涂低温解冻胶；沉积；涂热敏耐酸胶；热敏直写；酸蚀；清洗；剥离。本发明提供的纳米机器人制作工艺，利用热敏直写机加工得到尺寸小于500nm的纳米机器人，利用酸蚀和低温解冻的方法实现了将纳米机器人顺利从玻璃基板上剥离的目的。

技术领域

本发明涉及纳米机器人技术领域，尤其涉及一种纳米机器人制作工艺。

背景技术

纳米机器人广泛应用于科学实验、精密手术、精密加工制造等技术领域，纳米机器人的尺寸为纳米级别，因此，在现有纳米机器人的加工制作工艺中，由于工艺设计存在缺陷等原因，导致很难将纳米机器人从加工基体上剥离下来，操作难度大，效率极低。

因此，如何将纳米机器人顺利地从加工基体上剥离，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种纳米机器人制作工艺，该制作工艺可以加工制作尺寸小于500nm的纳米机器人，并能够将纳米机器人顺利地从玻璃基板上剥离下来。

为了实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种纳米机器人制作工艺，包括以下步骤：

研磨清洗玻璃基板，使玻璃基板的表面粗糙度小于预设值；

涂低温解冻胶，在玻璃基板表面均匀涂上低温解冻胶；

沉积，在低温解冻胶表面沉积一层厚度小于50nm的铁磁性材料；

涂热敏耐酸胶，在铁磁性材料的表面均匀涂上热敏耐酸胶；

热敏直写，使用计算机预设纳米机器人图案，每个纳米机器人图案的长度和宽度分别小于500nm，计算机控制热敏直写机在热敏耐酸胶表面作业，并保留覆盖保护纳米机器人图案的热敏耐酸胶；

酸蚀，使用酸液酸蚀已暴露的铁磁性材料；

清洗，对整张玻璃基板以及保留的纳米机器人图案对应的铁磁性材料进行清洗；

剥离，将玻璃基板表面的低温解冻胶解冻，将纳米机器人图案对应的铁磁性材料从玻璃基板上剥离以得到纳米机器人。

本发明提供的纳米机器人制作工艺，利用热敏直写机加工得到尺寸小于500nm的纳米机器人，利用酸蚀和低温解冻的方法实现了将纳米机器人顺利从玻璃基板上剥离的目的。

优选地，所述铁磁性材料为四氧化三铁。

优选地，在涂低温解冻胶步骤中，使用等离子电桨喷机在玻璃基板表面均匀涂上低温解冻胶；在涂热敏耐酸胶步骤中，使用等离子电桨喷机在铁磁性材料的表面均匀涂上热敏耐酸胶。

优选地，在沉积步骤中，使用真空蒸发机在低温解冻胶表面沉积一层厚度小于50nm的铁磁性材料。

优选地，所述酸液包含盐酸、硝酸和水。

优选地，在清洗步骤和剥离步骤之间，还包括以下步骤：

烘干，对整张玻璃基板以及保留的纳米机器人图案对应的铁磁性材料进行烘干。

优选地，在研磨清洗玻璃基板步骤中，使玻璃基板的表面粗糙度小于

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明具体实施例中的纳米机器人制作工艺的流程图。

具体实施方式