[发明专利]一种金刚线切割多晶硅的制绒方法在审
| 申请号： | 201811593932.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109680337A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 赵迎财;金井升;张昕宇 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/08 | 分类号： | C30B33/08;C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 314416 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅 线切割 制绒 清洗 酸制绒 混合溶液体系 太阳能电池 表面结构 低反射率 工艺步骤 激光刻蚀 金属离子 溶液体系 转换效率 电性能 硅片 污染 配合 | ||
1.一种金刚线切割多晶硅的制绒方法，包括以下步骤：
a)将金刚线切割多晶硅采用H2O2-HCl混合溶液体系进行清洗，得到清洗后的金刚线切割多晶硅；
b)将步骤a)得到清洗后的金刚线切割多晶硅依次进行激光刻蚀和酸制绒，得到制绒后的金刚线切割多晶硅。
2.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤a)中所述H2O2-HCl混合溶液体系中H2O2的质量浓度为5％～20％，HCl的质量浓度为5％～20％。
3.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤a)中所述清洗的温度为20℃～30℃，时间为60s～300s。
4.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤b)中所述激光刻蚀的功率为3W～10W，刻蚀点数为1E4～3E4。
5.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤b)中所述酸制绒的过程具体为：
将激光刻蚀后的金刚线切割多晶硅采用HF-HNO3混合溶液体系进行制绒，得到酸制绒后的金刚线切割多晶硅。
6.根据权利要求5所述的制绒方法，其特征在于，所述HF-HNO3混合溶液体系中HF的质量浓度为5％～15％，HNO3的质量浓度为5％～15％。
7.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤b)中所述酸制绒的温度为20℃～30℃，时间为100s～240s。
8.根据权利要求1～7任一项所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤b)还包括：
将酸制绒得到的金刚线切割多晶硅进行表面处理，得到制绒后的金刚线切割多晶硅。
9.根据权利要求8所述的制绒方法，其特征在于，所述表面处理的过程具体为：
将酸制绒后的金刚线切割多晶硅采用RCA标准清洗法进行清洗后，再进行慢提拉，烘干后得到制绒后的金刚线切割多晶硅。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述慢提拉的温度为50℃～70℃，提拉速度为2mm/s～20mm/s。
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