[发明专利]一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法在审

专利信息
申请号: 201811595860.9 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN111349965A 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 连庆伟;鲁强;姜舰;秦瑞锋;盖晶虎;戴小林;吴志强 申请(专利权)人: 有研半导体材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 刘秀青
地址: 101300 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 防止 单晶炉取装 石墨 埚底碰坏 加热器 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置,其特征在于,该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子;其中,三条臂梁的一端固定在一起,在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽;所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部,滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽;钩子与钢架结构连接时,固定部位于滑动槽内并与之连接,三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述臂梁的滑动槽的两侧壁上分别形成有一通孔,其底部设有一固定孔;所述钩子的固定部上设有分别与该通孔和固定孔对应的穿孔。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述臂梁的顶部分别安装有把手。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述钩子的平头部的长度为5-8mm。

5.一种使用权利要求1-4中任一项所述的装置取装石墨埚底的方法,包括以下步骤:

(1)先对装置进行简单的安装,将钩子的固定部与滑动槽连接,并使得钩子的固定部能够在滑动槽内相对滑动,且保证三个钩子的固定部分别滑动到最大范围时,钩子均距离加热器1cm以上;

(2)滑动钩子使得钩子的平头部分别勾住石墨埚底的下边缘,用销钉将钩子与钢架结构固定连接;

(3)在取装石墨埚底的过程中,垂直上下移动。

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