[发明专利]一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法在审
申请号: | 201811595860.9 | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN111349965A | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 连庆伟;鲁强;姜舰;秦瑞锋;盖晶虎;戴小林;吴志强 | 申请(专利权)人: | 有研半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青 |
地址: | 101300 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 单晶炉取装 石墨 埚底碰坏 加热器 装置 方法 | ||
1.一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置,其特征在于,该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子;其中,三条臂梁的一端固定在一起,在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽;所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部,滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽;钩子与钢架结构连接时,固定部位于滑动槽内并与之连接,三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述臂梁的滑动槽的两侧壁上分别形成有一通孔,其底部设有一固定孔;所述钩子的固定部上设有分别与该通孔和固定孔对应的穿孔。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述臂梁的顶部分别安装有把手。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述钩子的平头部的长度为5-8mm。
5.一种使用权利要求1-4中任一项所述的装置取装石墨埚底的方法,包括以下步骤:
(1)先对装置进行简单的安装,将钩子的固定部与滑动槽连接,并使得钩子的固定部能够在滑动槽内相对滑动,且保证三个钩子的固定部分别滑动到最大范围时,钩子均距离加热器1cm以上;
(2)滑动钩子使得钩子的平头部分别勾住石墨埚底的下边缘,用销钉将钩子与钢架结构固定连接;
(3)在取装石墨埚底的过程中,垂直上下移动。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研半导体材料有限公司,未经有研半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811595860.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:纳米机器人制作工艺
- 下一篇:动态有机污泥发酵干燥系统及动态有机污泥发酵工艺