[发明专利]一种多晶硅片生产装置有效

专利信息
申请号: 201811595887.8 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109731819B 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 顾雨彤;林继承;吴国秋 申请(专利权)人: 中环艾能(高邮)能源科技有限公司
主分类号: B08B1/02 分类号: B08B1/02;B08B3/04;B08B3/10;F26B5/16;B08B1/00
代理公司: 广州天河万研知识产权代理事务所(普通合伙) 44418 代理人: 刘强;陈轩
地址: 225600 江苏省扬州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 硅片 生产 装置
【权利要求书】:

1.一种多晶硅片生产装置,其特征在于:包括支撑台(1)、储存机构(2)、清洗机构(3)、驱动机构(4)、除杂机构(5)、固定机构(6)和接水盘(7);所述支撑台(1)的顶面安装所述储存机构(2),所述储存机构(2)的内部转动连接所述清洗机构(3);所述储存机构(2)的侧壁安装所述驱动机构(4),且所述驱动机构(4)与所述清洗机构(3 )转动连接;所述支撑台(1)的顶面一端固定连接所述固定机构(6),且所述固定机构(6)的侧壁转动连接所述除杂机构(5);所述支撑台(1)的顶面安装所述接水盘(7),且所述接水盘(7)的两端抵触所述固定机构(6),所述储存机构(2)包括阀门(21)和箱体(22),所述箱体(22)固定于所述支撑台(1)顶面的一端,所述箱体(22)的底端呈漏斗形,且所述箱体(22)的底端侧壁安装所述阀门(21),所述清洗机构(3)包括毛刷(31)、转轴(32)和滤网(33),所述箱体(22)的内部安装多个所述滤网(33),相邻的所述滤网(33)之间安装所述转轴(32),且所述转轴(32)与所述箱体(22)的内部转动连接;所述转轴(32)的侧壁等距安装所述毛刷(31),所述毛刷(31)与所述滤网(33)的侧壁转动连接,且所述转轴(32)的最顶端与所述滤网(33)的顶面齐平,所述驱动机构(4)包括固定板(41)、电机(42)和齿轮(43),所述箱体(22)的侧壁固定连接所述固定板(41),中空所述固定板(41)的侧壁安装所述电机(42),所述固定板(41)的内部转动连接多个所述齿轮(43),且相邻所述齿轮(43)之间相互啮合;所述电机(42)转动连接其中一个所述齿轮(43),且所述齿轮(43)的一端固定连接所述转轴(32),所述固定机构(6)包括螺杆(61)、支撑板(62)、滚轮(63)和连接杆(64),所述支撑台(1)顶面的另一端对称安装所述支撑板(62),所述支撑板(62)的侧壁对称与所述螺杆(61)之间螺纹连接;侧壁为“T”形的所述螺杆(61)的一端固定连接所述连接杆(64),且所述连接杆(64)的侧壁等距转动连接所述滚轮(63),所述除杂机构(5)包括滚轴(51)和海绵垫(52),两块所述支撑板(62)之间等距转动连接所述滚轴(51),所述滚轴(51)的侧壁套装所述海绵垫(52);多个所述连接杆(64)和所述滚轮(63)分别伸入所述滚轴(51)的两端内部,且所述连接杆(64)和所述滚轮(63)与所述滚轴(51)的内部转动连接,所述接水盘(7)位于两个所述支撑板(62)之间,且所述接水盘(7)的宽度大于所述滚轴(51)的直径。

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