[发明专利]一种多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉，其特征在于：包括观察窗(1)、密封套(2)、散热结构(3)、布线结构(4)、安装板(5)、限位结构(6)、定位结构(7)和导向结构(8)；“L”字形结构的用于安装多晶硅还原炉控制组件的所述安装板(5)与用于防尘的所述密封套(2)之间滑动连接；所述密封套(2)上设有用于对控制组件进行降温的所述散热结构(3)；所述密封套(2)上设有矩形结构的所述观察窗(1)；所述安装板(5)的内部设有用于驱动所述密封套(2)滑动的所述导向结构(8)；所述安装板(5)的端部设有用于对所述密封套(2)进行限位的所述限位结构(6)；所述密封套(2)上设有用于对所述限位结构(6)进行定位的所述定位结构(7)；所述安装板(5)上设有用于分类固定导线的所述布线结构(4)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述散热结构(3)包括散热套(31)、两个连接头(32)和引流室(33)，U形结构的所述散热套(31)固定于所述密封套(2)，所述散热套(31)与所述密封套(2)的连接处的横截面为锯齿状结构，所述散热套(31)的两端对称设有两个所述连接头(32)，所述连接头(32)与所述散热套(31)的内部的所述引流室(33)导通，所述引流室(33)的地面为波浪形结构。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述定位结构(7)包括限位孔(71)和定位槽(72)，所述密封套(2)上设有用于对所述安装板(5)进行限位的所述定位槽(72)，所述限位孔(71)贯穿于所述密封套(2)与所述定位槽(72)导通。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述限位结构(6)包括限位块(61)、拉杆(62)、固定套(63)和复位弹簧(64)，所述安装板(5)上设有所述固定套(63)，所述限位块(61)贯穿于所述固定套(63)与所述限位孔(71)卡合，所述限位块(61)与所述固定套(63)之间滑动连接，所述限位块(61)与所述固定套(63)之间设有所述复位弹簧(64)，且所述拉杆(62)固定于所述限位块(61)。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述安装板(5)的两侧的侧壁为三角形结构。

6.根据权利要求4所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述导向结构(8)包括导向杆(81)和驱动弹簧(82)，所述密封套(2)上垂直固定有横截面为椭圆形的所述导向杆(81)，所述导向杆(81)的端部抵触有所述驱动弹簧(82)，所述驱动弹簧(82)嵌入所述安装板(5)的内部。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述布线结构(4)包括两个橡胶垫(41)、多个固定孔(42)、滑块(43)和驱动杆(44)，“L”字形结构的所述驱动杆(44)贯穿于所述安装板(5)延伸至所述滑块(43)的内部，所述安装板(5)与所述驱动杆(44)之间转动连接，所述驱动杆(44)与所述滑块(43)之间螺纹连接，所述滑块(43)与所述安装板(5)上分别对称固定有带有容纳空腔的用于固定导线的所述橡胶垫(41)，两个所述橡胶垫(41)的相对面均线性分布有一一对应的板圆柱体结构的所述固定孔(42)。