[发明专利]用于增强基于反射镜的光成像带电粒子显微镜中SE检测的方法和设备

权利要求书

1.一种设备，其包括：

反射器，其定位在样品位置附近，所述样品位置被定位成从带电粒子束(CPB)聚焦组合件沿CPB轴线接收CPB，使得所述反射器被定位成接收基于CPB-样品相互作用或光子-样品相互作用从所述样品位置处的样品发射的光并且将所述光引导到光电检测器；以及

转向电极，其定位在所述反射器附近，以便将基于所述CPB-样品相互作用从所述样品发射的二次带电粒子引导远离所述反射器和所述CPB轴线。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述反射器是被定位成沿光轴准直或聚焦所述光的弯曲反射器。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述弯曲反射器是抛物面反射器或椭圆形反射器。

4.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括移动台，所述移动台联接到所述反射器并且被定位成相对于所述CPB轴线或所述样品位置移动所述反射器。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述反射器的长度包含延伸部，所述延伸部为从所述样品发射的所述光提供额外的收集角并且具有至少部分地基于所述使用所述转向电极将所述二次带电粒子引导远离所述反射器的延伸部长度。

6.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括移动台，所述移动台联接到所述转向电极并且被定位成改变所述转向电极与所述反射器或所述CPB轴线之间的距离和角度中的一个或多个。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述转向电极包括天线电极。

8.根据权利要求6所述的设备，其中所述转向电极包括静电板。

9.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括二次带电粒子检测器，其被定位成接收从所述样品发射并且由所述转向电极引导的所述二次带电粒子。

10.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括所述CPB聚焦组合件，其被定位成沿着所述CPB轴线将所述CPB引导到所述样品位置处的焦点。

11.根据权利要求1所述的设备，其中所述CPB包括电子束，所述第二带电粒子包括二次电子，并且所述光包括阴极发光。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述反射器的长度包含延伸部，所述延伸部为从所述样品发射的所述光提供额外的收集角并且具有至少部分地基于所述使用反射器偏置引导所述二次带电粒子的延伸部长度。

13.根据权利要求1所述的设备，其中所述反射器和所述转向电极被定位成同时将所述光引导到所述光电检测器并且将所述二次带电粒子引导到二次带电粒子检测器。

14.根据权利要求1所述的设备，其中所述反射器被定位成接收电压以便提供偏置，所述偏置将所述二次带电粒子引导远离所述反射器和所述CPB轴线。

15.根据权利要求14所述的设备，其中所述反射器被定位成在所述反射器的不同部分处接收不同的电压。

16.根据权利要求15所述的设备，其中所述不同部分包括第一部分和第二部分，其中所述第一部分比所述第二部分接收更大的偏置，其中所述第一部分沿着与所述样品位置相邻的强弯曲部分，并且所述第二电压沿着与所述样品位置相邻的较弱弯曲部分。

17.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括光源，所述光源被配置成发射光束以产生所述光子-样品相互作用。

18.根据权利要求17所述的设备，其中从所述样品发射的所述光与拉曼发射相对应。