[发明专利]一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置

权利要求书

1.一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于设有短脉冲激光器、第1观察窗、光栅、分子泵、检测器、脉冲阀、第2观察窗、聚焦镜和真空腔；所述第1观察窗与第2观察窗成90°安装；短脉冲激光器的光路垂直于第1观察窗和聚焦镜，聚焦镜将短脉冲激光器聚焦于脉冲阀内的高压脉冲气，脉冲阀垂直正交安装在短脉冲激光器焦点上方；短脉冲激光器聚焦于脉冲阀的高压脉冲气产生的真空紫外光和短脉冲激光器光路形成40°入射到光栅，真空紫外光经过光栅分光被检测器接收；检测器被安装在高压脉冲气正下方，检测器和光栅平行安装；

所述短脉冲激光器、聚焦镜、高压脉冲气、光栅和检测器的中心处于同一平面上；所述分子泵安装于真空腔底面正中心，组成真空系统，用于提供高真空，其真空度为10^-5～10^-4Pa。

2.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述第1观察窗和第2观察窗的表面均镀有增透膜。

3.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述光栅与高压脉冲气之间的水平距离为250～500mm。

4.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述检测器与光栅平行安装的距离为250～500mm。

5.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述检测器被安装在高压脉冲气正下方的距离为100～120mm。

6.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述检测器采用闪烁计数器、高灵敏度相机、质谱。

7.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述脉冲阀垂直正交安装在短脉冲激光器焦点上方的距离焦点为5～15mm；所述脉冲阀为超低泄漏极限性能脉冲阀门，所述超低泄漏极限性能脉冲阀门包括压片陶瓷脉冲阀、脉冲电磁阀。

8.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述高压脉冲气采用各种惰性气体。

9.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述聚焦镜的焦距为100～200mm。

10.如权利要求1所述一种基于气相激光等离子体可调真空紫外单光子电离装置，其特征在于所述真空腔的材料为不锈钢。