[发明专利]共蒸发设备和温度监控方法

权利要求书

1.一种共蒸发设备，其特征在于，用于对基板进行共蒸发处理，所述共蒸发设备包括：

加热腔室，所述加热腔室内设置有用于承载所述基板的传输装置，所述加热腔室内间隔设置有至少两个用于对所述基板加热的加热器；

温度检测组件，包括沿第一方向排布的至少两个温度传感器和沿第二方向排布的至少两个温度传感器，所述温度传感器用于采集所述基板表面的温度数据；

处理器，所述处理器与各所述温度传感器和各所述加热器均通信连接，所述处理器用于根据各所述温度传感器采集的温度数据，调整所述加热器的加热温度。

2.根据权利要求1所述的共蒸发设备，其特征在于，各所述温度传感器均为非接触式温度传感器。

3.根据权利要求2所述的共蒸发设备，其特征在于，所述温度传感器设置于所述加热腔室的顶壁上。

4.根据权利要求3所述的共蒸发设备，其特征在于，所述顶壁开设有通孔，所述温度传感器设置于所述通孔；

所述温度传感器和所述加热腔室之间设置有盖板，所述盖板用于盖合所述通孔。

5.根据权利要求4所述的共蒸发设备，其特征在于，所述温度传感器设置于所述加热腔室的顶壁内侧；

所述温度传感器与所述加热腔室的顶壁外侧接触的区域设置有密封件。

6.根据权利要求3所述的共蒸发设备，其特征在于，所述温度传感器铰接设置于所述加热腔室内的顶壁上。

7.根据权利要求6所述的共蒸发设备，其特征在于，所述加热腔室内的顶壁上设置有卡座，所述卡座内设置有旋转轴，所述温度传感器固定设置于所述旋转轴上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的共蒸发设备，其特征在于，所述第一方向平行于所述传输装置的传输方向，所述第二方向垂直于所述传输装置的传输方向。

9.一种温度监控方法，其特征在于，应用于权利要求1至8中任一项所述的共蒸发设备，所述方法包括：

各所述温度传感器分别采集基板表面上各区域的温度数据；

所述处理器判断各区域的温度数据是否超过第一温度阈值；

若部分区域的温度数据超过第一温度数据，所述处理器控制所述部分区域对应的所述加热器调整加热温度，进行温度补偿。

10.根据权利要求9所述的温度监控方法，其特征在于，所述若部分区域的温度数据超过第一温度阈值，所述处理器控制所述部分区域对应的所述加热器调整加热温度，进行温度补偿的步骤，包括：

若部分区域的温度数据超过第一温度阈值，且全部区域的温度数据均未超过第二温度阈值，所述处理器控制所述部分区域对应的所述加热器调整加热温度，进行温度补偿，其中，所述第一温度阈值小于所述第二温度阈值；

若部分区域的温度数据超过所述第二温度阈值，所述处理器输出警告信息。