[发明专利]玻璃隔离器件及其制造方法、电流传感器

说明书

本发明提供一种玻璃隔离器件及其制造方法、电流传感器。所述电流传感器包括：导体，其包括电流输入端、电流输出端、与电流输入端相连的第一腿部、与电流输出端相连的第二腿部和连接第一腿部和第二腿部的连接部，其中第一腿部和第二腿部上的电流的方向相反；位于第一腿部和第二腿部一侧的磁电阻传感装置；设置于磁电阻传感装置和所述导体之间的玻璃隔离器件，所述玻璃隔离器件包括玻璃衬底和形成于所述玻璃衬底上的导电薄膜，其中所述导电薄膜通过打线接地。本发明的玻璃隔离器件原料和制备成本低，同时可以有效地实现电流侧和信号侧之间的电气隔离。

【技术领域】

本发明涉及隔离器件技术领域，尤其涉及一种玻璃隔离器件及其制造方法，以及采用该隔离器件的电流传感器。

【背景技术】

对于电流传感器，尤其是集成的电流传感器，如何有效地实现电流侧和信号侧之间的电气隔离，一直是个难点。

因此，有必要提出一种改进方案来克服上述问题。

【发明内容】

本发明的目的之一在于提供一种玻璃隔离器件，其可以有效实现电流传感器的电流侧和信号侧的电气隔离。

本发明的目的之二在于提供一种玻璃隔离器件的制造方法，其可以制造出能够有效实现电流传感器的电流侧和信号侧的电气隔离的玻璃隔离器件。

本发明的目的之三在于提供一种采用隔离器件的电流传感器，其中所述隔离器件可以有效实现电流传感器的电流侧和信号侧的电气隔离。

根据本发明的一个方面，本发明提供一种玻璃隔离器件，其包括：玻璃衬底；形成于所述玻璃衬底上的导电薄膜。

进一步的，所述玻璃衬底的边缘和所述导电薄膜的边缘对齐，或者，所述玻璃衬底的边缘和所述导电薄膜的边缘间隔预定距离。

根据本发明的另一个方面，本发明提供一种电流传感器，其包括：导体，其包括电流输入端、电流输出端、与电流输入端相连的第一腿部、与电流输出端相连的第二腿部和连接第一腿部和第二腿部的连接部，其中第一腿部和第二腿部上的电流的方向相反；位于第一腿部和第二腿部一侧的磁电阻传感装置；设置于磁电阻传感装置和所述导体之间的隔离器件，所述隔离器件包括绝缘衬底和形成于所述绝缘衬底上的导电薄膜，其中所述导电薄膜通过打线接地。

进一步的，所述导体为U型导体，所述绝缘衬底的边缘和所述导电薄膜的边缘对齐，或者，所述绝缘衬底的边缘和所述导电薄膜的边缘间隔预定距离。

进一步的，所述磁电阻传感装置包括设置于第一腿部一侧的第一磁电阻传感器和设置于第二腿部一侧的第二磁电阻传感器，第一磁电阻传感器和第二磁电阻传感器集成在同一芯片上，所述磁电阻传感器为各向异性磁阻、巨磁阻、隧穿磁阻或霍尔传感器。

进一步的，所述绝缘衬底为氧化镁衬底、陶瓷衬底或氮化硅衬底。

根据本发明的另一个方面，本发明提供一种玻璃隔离器件的制造方法，其包括：提供玻璃晶圆；在所述玻璃晶圆上形成导电薄膜；沿着划片道切割所述玻璃晶圆得到多个玻璃隔离器件，其中所述玻璃隔离器件包括玻璃衬底、形成于所述玻璃衬底上的导电薄膜。

进一步的，在所述玻璃晶圆上形成导电薄膜后，在沿着划片道切割所述玻璃晶圆前，所述制造方法还包括：通过曝光和刻蚀工艺得到图形化的导电薄膜。

与现有技术相比，本发明的玻璃隔离器件原料和制备成本低，同时可以有效地实现电流侧和信号侧之间的电气隔离。

【附图说明】

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：