[发明专利]一种真空干泵内部流场参数测试系统

说明书

本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。

技术领域

本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统。

背景技术

随着近年来半导体行业、化学工业、医药工业、食品工业等行业的快速发展，其工艺过程中对清洁真空环境的依赖逐步提高，真空干泵由于能够快速高效获取清洁无油的中高真空环境，因而得到广泛应用，而在真空干泵生产中，对其进行产品性能测试尤为重要。在真空干泵的内部流场测试中，其主要测量的参数包括流量、温度、压强等，虽然这些参数也能通过计算机模拟计算得出，但是计算机模拟结果往往和实际生产情况之间存在着误差。另外目前对干泵内部参数的测量主要依靠传感器，尤其是压力传感器，往往需要在泵体上开多个螺纹孔安装各个传感器，以方便直接测得干泵内部压力，这不仅影响效率、提高成本，而且会对干泵造成损坏

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空干泵内部流场参数测试系统，能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且采用带压感膜的压力传感器进行测量，不会对泵体造成过多损坏。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别通过管路与第一真空室相连，第二真空室通过管路与第二维持泵相连，在所述待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在所述待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，电感线圈设于两个压感膜之间，且每个压感膜外侧均设有封装层，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。

所述封装层厚度为0.4mm～0.6mm，所述压感膜厚度为0.1mm～0.2mm，两个压感膜之间的膜间距为0.03～0.07mm。

所述待测真空干泵的内壁上设有多个安装槽且槽深为1.5～2.5mm，所述压力传感器固装于对应的安装槽中。

所述电感线圈为圆形；所述耦合电感形状与压力传感器形状相同。

所述待测真空干泵的进气口内壁和出气口内壁均设有螺纹孔，所述温度传感器安装在对应的螺纹孔内且头部涂有真空密封胶。

所述第一真空室与待测真空干泵之间的连接管路上沿着气体传输方向依次设有流量计、入气通断阀和第一压力表，待测真空干泵与第二真空室之间的连接管路上沿着气体传输方向依次设有第二压力表和出气通断阀。

第一真空室上设有第一真空计和第一放气阀，第二真空室上设有第二真空计和第二放气阀。

第一维持泵和第一真空室之间的连接管路上设有第一流量调节阀，第二维持泵和第二真空室的连接管路上设有第二流量调节阀。

气瓶和第一真空室之间的连接管路上设有气瓶流量调节阀。

本发明的优点与积极效果为：