[发明专利]一种片上偏振旋转测试装置和方法

权利要求书

1.一种片上偏振旋转测试装置，其特征在于，包括第一测试结构和第二测试结构，其中：

所述第一测试结构包括第一横电TE偏振光栅、第二TE偏振光栅和位于所述第一TE偏振光栅、第二TE偏振光栅之间的第一非对称波导；

所述第二测试结构包括第三TE偏振光栅、横磁TM偏振光栅和位于所述第三TE偏振光栅、TM偏振光栅之间的第二非对称波导；所述第一非对称波导和第二非对称波导的长度相同，采用相同的双重曝光工艺制备而成。

2.如权利要求1所述的片上偏振旋转测试装置，其特征在于，所述第一测试结构还包括第一渐变波导和第二渐变波导，其中，

所述第一渐变波导的一端与所述第一TE偏振光栅的输出端相连，所述第一渐变波导的另一端与所述第一非对称波导相连；

所述第二渐变波导的一端与所述第一非对称波导相连，所述第二渐变波导的另一端与第二TE偏振光栅相连。

3.如权利要求1所述的片上偏振旋转测试装置，其特征在于，所述第二测试结构还包括第三渐变波导和第四渐变波导，其中，

所述第三渐变波导的一端与所述第三TE偏振光栅的输出端相连，所述第三渐变波导的另一端与所述第二非对称波导相连；

所述第四渐变波导的一端与所述第二非对称波导相连，所述第四渐变波导的另一端与TM偏振光栅相连。

4.一种片上偏振旋转测试方法，使用如权利要求1～3中任意一项所述的片上偏振旋转测试装置，包括：

分别向所述第一测试结构和第二测试结构输入波长变化的入射光；

获取所述第一测试结构输出的TE-TE透射谱线，以及获取所述第二测试结构输出的TE-TM透射谱线；

根据所述TE-TE透射谱线和TE-TM透射谱线确定偏振转换是否符合预设的要求。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述入射光的波长范围为1525～1575nm，波长分辨率小于0.1nm。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述TE-TE透射谱线和TE-TM透射谱线确定偏振转换是否符合预设的要求，包括：

根据所述TE-TE透射谱线确定TE-TE插损震荡幅度，根据所述TE-TE透射谱线和TE-TM透射谱线确定TE-TE与TE-TM之间的串扰；

在所述TE-TE插损震荡幅度小于预设的震荡幅度阈值，所述串扰小于预设的串扰阈值时，确定偏振转换符合预设的要求。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，

所述震荡幅度阈值为0.5dB，所述串扰阈值为-10dB。

8.一种片上偏振旋转测试装置，其特征在于，包括多个测试结构，其中：

所述测试结构包括两个TE偏振光栅和一个非对称波导，所述非对称波导位于所述两个TE偏振光栅之间；

每个测试结构中的非对称波导长度不同，采用相同的双重曝光工艺制备而成。

9.如权利要求8所述的片上偏振旋转测试装置，其特征在于，每个测试结构包括两个渐变波导，所述非对称波导通过所述渐变波导分别与两个TE偏振光栅相连。

10.如权利要求8所述的片上偏振旋转测试装置，其特征在于，

所述多个测试结构中非对称波导的长度范围覆盖一个长度变化周期。

11.一种片上偏振旋转测试方法，使用如权利要求8～10中任意一项所述的片上偏振旋转测试装置，包括：

分别向所述多个测试结构输入相同波长的入射光；

分别获取所述多个测试结构输出的TE-TE透射率；

根据得到的所述TE-TE透射率确定偏振转换是否符合预设的要求。