[发明专利]一种高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法

权利要求书

1.一种高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(100)工业液氨蒸发提纯：工业液氨进入蒸发器，通过热水系统提供的热能将工业液氨气化成氨气；

(200)净化分离：将步骤(100)中气化的氨气经过净化分离器进行气液分离，得到净化后的气氨，并除去大颗粒物质；

(300)吸附：将步骤(200)得到的净化后的气氨进入吸附器，利用范德华力除去有机物质，进一步对气氨进行提纯；

(400)过滤：将步骤(300)得到的气氨经过多孔膜进行过滤除颗粒；

(500)多级洗涤净化除杂质：将步骤(400)得到的气氨进入洗涤净化塔内，采用洗涤液进行多级洗涤后得到高纯气氨，再将洗涤净化塔中的洗涤回流液回流进入副产物氨水罐；

(600)气液分离：洗涤净化塔出来的高纯气氨经过汽液分离器，进行气液分离，得到高纯氨气；

(700)多级吸收：气液分离器中出来的高纯氨气进入气氨吸收塔，用DIW进行多级吸收，根据工艺需要得到不同浓度的超纯氨水溶液；

(800)多级过滤：将步骤(700)中的超纯氨水溶液经过过滤器后进入成品罐得到PPT高纯氨水。

2.根据权利要求1所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，所述步骤(100)中热水系统的温度控制在35℃。

3.根据权利要求1所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，步骤(500)中洗涤净化塔的温度通过第一热交换器控制在20-35℃。

4.根据权利要求1所述的一种高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，步骤(500)中的洗涤净化塔从下往上依次包括第一填料层、泡罩型洗涤单元、第二填料层和除沫层；步骤(400)得到的气氨进入洗涤净化塔内，先通过洗涤液进行洗涤脱除大部分杂质，再在洗涤净化塔内依次经过第一填料层、泡罩型洗涤单元、第二填料层和除沫层深度脱除杂质，得到高纯气氨。

5.根据权利要求4所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，所述第一填料层为PFA填料层。

6.根据权利要求4所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，所述第二填料层为PFA填料层。

7.根据权利要求1或4任一所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，所述高纯气氨的杂质含量小于10ppt。

8.根据权利要求1或4任一所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，所述洗涤液为超纯水。

9.根据权利要求1所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，步骤(700)中气氨吸收塔的温度通过第二热交换器控制在30℃，压力为5-20KPa。

10.根据权利要求1所述的高效低耗PPT级高纯氨水的制备方法，其特征在于，步骤(800)中所述的PPT高纯氨水中大于等于0.5μm的颗粒数小于3.5个/ml，大于等于0.2μm的颗粒数目小于35个/ml，单项金属离子含量小于10PPT。