[发明专利]薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法

权利要求书

1.一种薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂；

所述金属氧化物前驱体盐占所述薄膜晶体管有源层墨水的重量百分比为1-15％，所述醇醚类有机溶剂占所述薄膜晶体管有源层墨水的重量百分比为80-95％，所述粘度调节剂占所述薄膜晶体管有源层墨水的重量百分比为1-15％；

所述金属氧化物前驱体盐为金属乙酸盐；

所述金属氧化物前驱体盐中的金属选自锌、铟、镓和锡中的一种或多种；

所述薄膜晶体管有源层墨水的粘度为8-20cP；

所述的粘度调节剂为有机醇，所述有机醇的粘度为10cP-100cP。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层墨水由金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂组成。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述有机醇的沸点为100-300℃；和/或，

所述醇醚类有机溶剂选自乙二醇醚或丙二醇醚中的一种或多种。

4.根据权利要求3所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述的有机醇选自2-甲基环己醇、3-甲基环己醇、3,5,5-三甲基己醇、壬醇、5-乙基-2-壬醇、2,6-二甲基-4-庚醇、癸醇、乙二醇、聚乙二醇、1,2-丙二醇，1,3-丙二醇、1,2-丁二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2,3-丁二醇、5-戊二醇，2-丁烯-1,4-二醇、2-甲基-2,4-戊二醇、2-乙基-1,3-己二醇、1,2,6-己三醇、丙三醇和二甘醇中的一种或多种。

5.根据权利要求3所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述醇醚类有机溶剂选自乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丙醚、乙二醇异丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚、乙二醇己醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇正丙醚、丙二醇异丙醚、丙二醇正丁醚、丙二醇叔丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇丁醚，二乙二醇二丁醚，二乙二醇己醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇甲醚和三丙二醇丁醚中的一种或多种。

6.一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供基板，所述基板包括衬底、设置在所述衬底上的栅极以及设置在所述栅极表面的绝缘层；

提供薄膜晶体管有源层墨水，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂；

在所述绝缘层表面沉积所述薄膜晶体管有源层墨水，经干燥后退火，制得所述薄膜晶体管的有源层；

所述金属氧化物前驱体盐占所述薄膜晶体管有源层墨水的重量百分比为1-15％，所述醇醚类有机溶剂占所述薄膜晶体管有源层墨水的重量百分比为80-95％，所述粘度调节剂占所述薄膜晶体管有源层墨水的重量百分比为1-15％；

所述金属氧化物前驱体盐为金属乙酸盐；

所述金属氧化物前驱体盐中的金属选自锌、铟、镓和锡中的一种或多种；

所述薄膜晶体管有源层墨水的粘度为8-20cP；

所述的粘度调节剂为有机醇，所述有机醇的粘度为10cP-100cP。