[发明专利]一种可调节的风刀固定结构

说明书

本发明涉及一种可调节的风刀固定结构，包括至少一个风刀，风刀固定结构包括两块调节组合装置，风刀夹持固定在所述两块调节组合装置之间，其中，调节组合装置包括支撑座、水平固定座、水平调节机构和竖直调节机构，支撑座固定在设备机架上，所述水平固定座固定在所述支撑座内，风刀设于相对设置的两水平固定座的内侧，所述水平调节机构固定在所述水平固定座的外侧，用于水平转动风刀、调节风刀的出风方向，所述竖直调节机构竖直设置并且垂直于所述水平固定座，用于竖直升降水平调节机构、调节风刀的上下位置。本发明能够在风刀安装好后对风刀的位置及出风方向进行更具针对性的调整，能够提高平板的吹干效率，同时提升平板清洗的效果。

技术领域

本发明涉及平板清洗设备技术领域，具体涉及一种可调节的风刀固定结构。

背景技术

硅片或者平板在清洗或者剥膜后需要清洗表面药液并且吹干，目前常用的吹风风干的方式，是选用风刀吹风的形式，但针对不同规格的平板，需要对风刀的位置及出风方向等进行一定的调整，以提高其工作效率。

但是现有的风刀结构中，在风刀装配完成后就无法对其进行微调，必须整体拆装才能够对风刀进行调整，可调性差，不能满足越来越精细化的工作需求。

发明内容

本发明的目的是要提供一种可调节的风刀固定结构，能够在风刀安装好后对风刀的位置及出风方向进行更具针对性的调整，能够提高平板的吹干效率，同时提升平板清洗的效果。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

本发明提供了一种可调节的风刀固定结构，包括至少一个风刀，风刀固定结构包括两块调节组合装置，风刀夹持固定在所述两块调节组合装置之间，其中，调节组合装置包括支撑座、水平固定座、水平调节机构和竖直调节机构，支撑座固定在设备机架上，所述水平固定座固定在所述支撑座内，风刀设于相对设置的两水平固定座的内侧，所述水平调节机构固定在所述水平固定座的外侧，风刀固定在相对设置的两个水平调节机构之间，水平调节机构用于水平转动风刀、调节风刀的出风方向，所述竖直调节机构竖直设置并且垂直于所述水平固定座，用于竖直升降水平调节机构、调节风刀的上下位置。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

进一步地，所述水平调节机构包括角度指针和转杆，转杆穿过所述水平固定座上的通孔并与风刀固定连接，用于带动所述风刀水平转动，所述角度指针固定在所述转杆上并与所述转杆一起转动。

进一步地，在所述固定座的外侧设置有角度刻度，所述角度指针的尖端贴近所述角度刻度设置，用于标识风刀转动的角度。

更进一步地，所述水平调节机构还包括第一限位块和第一限位柱，所述第一限位块与所述转杆固定连接，在所述第一限位块上开有弧形腰型孔，第一限位柱固定在所述水平固定座上，第一限位柱卡在所述弧形腰型孔内用于限定转杆的转动位置。

进一步地，所述竖直调节机构包括调节螺纹杆，调节螺纹杆的一端与所述水平固定座固定连接，另一端从支撑座上的螺纹孔竖直穿出，在调节螺纹杆上套接有调节螺栓，调节螺栓用于带动所述螺纹杆拧进或旋出。

进一步地，在水平固定座上固定有水平指针，在支撑座上竖直设置有数值刻度，水平指针对应指向所述数值刻度，用于标识水平固定座的升降高度，即风刀的升降高度。

更进一步地，在水平固定座的侧边固定有第二限位块，所述第二限位块上竖直开设有长条形的腰型孔，在所述支撑座上固定有第二限位柱，第二限位柱卡在所述第二限位块的腰型孔内用于限定水平固定座可移动的竖直高度。

进一步地，所述水平指针设置在所述第二限位块的侧面。

进一步地，在每一调节组合装置中，在支撑座上对应于每一个风刀分别设置有水平固定座、水平调节机构和竖直调节机构。