[发明专利]智能精密抛光机的下工作盘装置

权利要求书

1.一种智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，包括：若干作业单元、工作盘旋转机构、工作盘升降机构以及若干作业减速机构，所述若干作业单元的顶部分别设置在所述工作盘旋转机构上，所述若干作业单元的底部分别穿出所述工作盘旋转机构与作业减速机构相连接，所述工作盘旋转机构和若干作业减速机构分别设置在所述工作盘升降机构上；所述工作盘升降机构通过带动所述工作盘旋转机构升降，从而带动设置在所述工作盘旋转机构上方的作业单元升降，进而控制所述作业单元与所述作业减速机构的接驳或分离，所述作业减速机构带动所述作业单元绕自身轴心旋转，所述工作盘旋转机构带动所述作业单元切换工作位。

2.根据权利要求1所述的智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，还包括导水机构，所述导水机构包括若干导水件，所述工作盘旋转机构、作业减速机构以及工作盘升降机构分别设有所述导水件。

3.根据权利要求1所述的智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，所述工作盘升降机构包括设置在底座板上的升降组件，以及若干设置在所述升降组件上的旋转定位组件，所述工作盘旋转机构上设有匹配所述旋转定位组件的定位装置；所述升降组件包括：升降驱动装置、若干升降导向装置、升降平台、若干导柱，以及与所述导柱的数量相匹配的导柱套，所述升降驱动装置设置在所述底座板上，所述底座板上还设有匹配所述升降平台的支撑架，所述支撑架设置在所述升降驱动装置上方，所述升降平台设置在所述支撑架上方，并且所述升降平台的底部与所述升降驱动装置相连接；所述若干升降导向装置的顶部分别设置在所述升降平台上，所述若干升降导向装置的底部分别设置在所述支撑架上；所述若干导柱套分别设置在所述支撑架上，每一所述导柱套上设有所述导柱，所述若干导柱分别穿出所述升降平台与所述工作盘旋转机构相连接。

4.根据权利要求3所述的智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，所述若干旋转定位组件分别设置在所述升降平台的边缘，所述旋转定位组件包括：定位驱动装置、定位套以及定位套座，所述升降平台的边缘设有若干匹配所述定位驱动装置的安装座，所述定位驱动装置设置在所述安装座上，所述定位驱动装置的输出轴上设有一连接件，所述定位套安装座设置在所述连接件上，所述定位套设置在所述定位套安装座上，所述定位套及定位套座匹配所述工作盘旋转机构的定位装置。

5.根据权利要求1所述的智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，所述工作盘旋转机构包括第一传动组件和定位装置，所述第一传动组件设置在所述工作盘升降机构上，所述定位装置设置在所述第一传动组件上；所述第一传动组件包括：旋转驱动装置、第一旋转主轴、第一轴承座、若干轴承、旋转齿轮以及旋转台，所述旋转台上方设有所述作业单元；所述第一旋转主轴的顶部与所述旋转台相连接，所述第一旋转主轴上设有所述旋转齿轮、若干轴承以及第一轴承座，所述若干轴承还设置在所述第一轴承座内，所述第一轴承座设置在所述工作盘升降机构上；所述旋转驱动装置设置在所述第一轴承座一侧，并且所述旋转驱动装置输出端上的齿轮与所述旋转齿轮相咬合。

6.根据权利要求5所述的智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，所述定位装置包括旋转定位架以及与所述作业单元数量相匹配的定位件，所述旋转定位架设置在所述第一旋转主轴上，所述旋转定位架还设置在所述旋转台和旋转齿轮之间，所述定位件设置在所述定位旋转架上。

7.根据权利要求1所述的智能精密抛光机的下工作盘装置，其特征在于，所述作业单元包括第二传动组件和定位组件，所述第二传动组件穿出所述工作盘旋转机构与所述作业减速机构相连接，所述定位组件设置在所述第二传动组件上；所述第二传动组件包括真空吸附盘、第一离合装置、旋转主轴、若干轴承以及轴承座，所述若干轴承分别设置在所述轴承座内，所述第一离合装置设置在所述作业减速机构上，所述旋转主轴的顶部连接所述真空吸附盘，所述旋转主轴的底部从上至下依次穿出所述第一离合装置、轴承座以及若干轴承与所述作业减速机构相连接。