[发明专利]测量坐标校正方法和系统

说明书

本发明提供一种测量坐标校正方法和系统，所述方法包括：获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正；采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。

技术领域

本发明涉及影像测量领域，尤其涉及一种测量坐标校正方法和系统。

背景技术

目前对待测物体的量测主要有两种方式，一种是利用探针直接接触待测物体进行量测(称为探针量测系统或“接触式量测系统)，另外一种是利用光学耦合镜头(ChargeCoupled Device,CCD)获取待测物体的影像进行量测(称为影像量测系统或非接触式量测系统)，现有的测量设备上通常同时配备有探针测量系统和影像测量系统。

由于探针测量系统没有设置观察镜头，在利用探针进行电阻率测量时，直接以作业文件坐标作为量测坐标，然后移动探针到量测坐标的位置进行检测。然而作业文件的量测坐标和实际坐标往往略有差异，容易导致量测点位置不准确，导致探针无法准确扎到指定的测试区域，如果扎到测量区域外的封装区，不仅会使测量结果不准确，还会导致芯片封装失效，造成芯片损毁。

发明内容

本发明提供一种测量坐标校正的方法和系统，以解决物理测量时由于无法确认待测量目标的实际坐标而导致测量结果不准确的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供了一种测量坐标校正方法，其中，所述方法包括：

获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标；

根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正，使所述光学镜头的测量范围与所述物理测量模块的测量范围保持一致；

采用校正后的光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标；

将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较；

当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时，调整所述测量对象的位置，再重新进行比较；

当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时，执行物理测量。

根据本发明的一个具体实施例，其中，所述根据获取的所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标对测量系统的光学镜头进行校正的方法包括：

将所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比，看二者是否重合；如不重合，则调整所述光学镜头的位置，直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合。

根据本发明的一个具体实施例，其中，判断所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标是否重合的方法为：

获取所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标(x₀,y₀)；

获取所述光学镜头的几何中心坐标(x₁,y₁)；

计算所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标之间的距离Δ，计算方法为：

Δ＝(x₁-x₀)²+(y₁-y₀)²；