[发明专利]一种平板显示光阻剥离设备在审
申请号: | 201811605192.3 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109597285A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 蒋新;孔祥振;田丹女;陈国才;窦福存;施利君 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人: | 项丽 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传动辊 玻璃面板 槽体 剥离设备 平板显示 雾化喷头 剥膜 光阻 体内 药液供给装置 工作安全性 倾斜角度地 传送方向 使用寿命 固定槽 良品率 平行 外部 进口 出口 | ||
本发明涉及一种平板显示光阻剥离设备,包括槽体,槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊,在传动辊的上下分别设置有若干个雾化喷头,所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连,在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口,其中,所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中,且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。本发明能够实现对于玻璃面板的有效剥膜,提高了产品良品率的同时,能够确保剥膜设备的工作安全性和使用寿命。
技术领域
本发明涉及平板清洗设备技术领域,具体涉及一种平板显示光阻剥离设备。
背景技术
剥膜是LED/AMOLED生产过程中一个必不可少的缓解。剥膜是采用高浓度的碱液作脱膜液,将玻璃上余下的光刻胶剥离掉,将反应后的光刻胶带走,让玻璃保持洁净状态,从而使ITO玻璃形成与光刻掩模版完全一致的ITO图形。这样就完成了第一道薄膜导电晶体制程,一般至少需要5道相同的过程,在玻璃上形成复杂精密的电极图形,用相同的方法在玻璃上拉出其他的ITO电极图形,形成复杂精密的电极图形,可以更好的控制液晶分子的运动
但是,现有的玻璃面板的剥膜设备中,对于碱液在玻璃面板上的覆盖不够均匀,导致产品的良品率不够高,且剥膜过程中所存在的安全隐患较多,如何可靠防火防爆也是目前的剥膜设备急需解决的一个问题。
发明内容
本发明的目的是要提供一种平板显示光阻剥离设备,其能够实现对于玻璃面板的有效剥膜,提高了产品良品率的同时,能够确保剥膜设备的工作安全性和使用寿命。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:
本发明提供了一种平板显示光阻剥离设备,包括槽体,槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊,在传动辊处设置有若干个雾化喷头,所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连,在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口,其中,所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中,且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。
对于上述技术方案,申请人还有进一步的优化措施。
进一步地,所述传动辊的轴心线与水平方向缩成的倾斜角度在5度至10度之间。
进一步地,在所述槽体的进口处依次设置有第一风刀和第一液刀,在所述槽体的出口处设置有第二风刀。
更进一步地,所述第二风刀包括相对设置的两个风刀,剥膜完成后的玻璃面板从所述第二风刀的两个风刀之间穿过后吹干。
进一步地,所述药液供给装置包括药液混合箱,药液混合箱的一侧开设有原药进口和进水口,在药液混合箱的底部开有药液出口,药液出口通过药液管与所述若干个雾化喷头分别相连。
更进一步地,所述药液混合箱的外侧设有冷却循环系统。
进一步地,所述槽体的底部开设有排液孔,所述排液孔通过输送管路与药液循环装置相连。
更进一步地,所述药液供给装置中的药液为有机碱。
进一步地,所述若干个雾化喷头间或交错地设置在所述传送辊的上方或者下方。
进一步地,所述槽体的侧板上设置灭火孔,所述灭火孔与外部设置的灭火器装置相连。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
本发明的平板显示光阻剥离设备,其采用了传动辊倾斜设置的结构,使得玻璃面板随传动辊的传送进入槽体后,玻璃面板也是在倾斜状态下被喷淋药液的,药液能够受重力影响顺流而下,使得玻璃面板得以药液全覆盖,提高剥膜效果,进而提高产品的良品率。
进一步地,该平板显示光阻剥离设备的整体管路设计更为合理,能够工作更为安全可靠,同时对于药液的利用和回收更为充分。
附图说明
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