[发明专利]一种改性的光伏组件用背板及包含其的光伏组件

权利要求书

1.一种改性的光伏组件用背板，所述改性的光伏组件用背板包括PET基板，设置在所述PET基板一侧的含氟有机层，设置在所述PET基板另一侧的涂层，其特征在于，所述含氟有机层远离PET基板一侧设置无机物层。

2.如权利要求1所述的改性的光伏组件用背板，其特征在于，所述无机物层的无机物包括二氧化硅、二氧化锆、氮化硅中的任意1种或至少2种的组合；

优选地，所述无机物的平均粒径为20～35nm。

3.如权利要求1或2所述的改性的光伏组件用背板，其特征在于，所述无机物层的厚度为20～200μm。

4.如权利要求1～3之一所述的改性的光伏组件用背板，其特征在于，所述含氟有机层包括PVF层、PVDF层、ETFE层或ECTFE层中的任意一种或至少两种的组合。

5.如权利要求1～4之一所述的改性的光伏组件用背板，其特征在于，所述背板的透水率低为0.1～0.5g/m²·day。

6.如权利要求1～5之一所述的改性的光伏组件用背板，其特征在于，所述改性的光伏组件用背板通过如下方法制备：

(1)选用未改性的光伏组件用背板，所述未改性的光伏组件用背板的表层为含氟有机层；

(2)利用等离子体增强化学气相沉积在所述未改性的光伏组件用背板的含氟有机层的暴露面沉积含氟有机层，得到改性的光伏组件用背板。

7.如权利要求6所述的改性的光伏组件用背板，其特征在于，所述等离子体增强化学气相沉积为射频板式等离子体增强化学气相沉积；

优选地，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的背板为石墨背板；

优选地，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的衬底温度为300～350℃，沉积速度为0.6～4nm/s；

优选地，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的射频频率为13.56MHz；

优选地，所述无机物层为氮化硅，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的气体为氮化硅和氨气的混合气体；

优选地，所述氮化硅的流量为0.6～4L/min；

优选地，所述氨气的流量为4.5～30L/min；

优选地，所述无机物层为二氧化硅，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的气体为硅烷气和氧气；

优选地，所述无机物层包括二氧化锆，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的气体为携带氯化锆的氦气和氧气；

优选地，所述射频板式等离子体增强化学气相沉积的腔体内部的压力为0.20MPa～0.45MPa。

8.一种光伏组件，其特征在于，所述光伏组件的背板为权利要求1～7之一所述的改性的光伏组件用背板。