[发明专利]一种单晶炉排气口自净化装置

说明书

本发明提供一种单晶炉排气口自净化装置，包括第一旋转装置、第二旋转装置和清扫装置，第一旋转装置与第二旋转装置相配合，清扫装置与第二旋转装置连接。本发明的有益效果是采用涡轮蜗杆相配合，清扫装置与涡轮连接，通过涡轮带动清扫装置旋转，对排气管道进行清扫，工作可靠，清扫效率高，将炉体运行过程不断将沉积下来的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高单晶炉的工作效率，提高单晶质量。

技术领域

本发明属于单晶生产设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉排气口自净化装置。

背景技术

单晶炉运行过程中会产生大量的氧化物通过炉体排气系统排出炉体，一般排气系统设计在炉底，氧化物会通过炉体内排气导管输送到炉体外排气管道最后排出炉体，在炉内排气导管与炉体外排气管道相接区域，处于冷热交接位置，氧化物流过会沉积吸附在此处，运行时间久，氧化物堆积越来越多最终将排气口堵塞，导致排气系统瘫痪，最终影响成晶效果及品质。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种单晶炉排气口自净化装置，尤其适合单晶炉排气口管道清洁时使用，该自净化装置安装在排气管道内氧化物堆积处，对沉积的氧化物进行清扫，防止氧化物堆积过多堵住排气管道。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种单晶炉排气口自净化装置，包括第一旋转装置、第二旋转装置和清扫装置，第一旋转装置与第二旋转装置相配合，清扫装置与第二旋转装置连接。

进一步的，清扫装置包括清扫杆和清扫部，清扫杆与第二旋转装置连接，清扫杆与清扫部连接。

进一步的，清扫杆的长度与单晶炉排气管道的半径相适应。

进一步的，清扫装置的数量至少为一个。

进一步的，自净化装置还包括动力装置，动力装置与第一旋转装置连接。

进一步的，清扫部为清扫刷。

进一步的，第一旋转装置为蜗杆，第二旋转装置为涡轮，蜗杆与涡轮相啮合。

进一步的，第一旋转装置与第二旋转装置为相互啮合的齿轮。

本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得该单晶炉排气口自净化装置结构简单，使用方便，采用涡轮蜗杆相配合，清扫装置与涡轮连接，通过涡轮带动清扫装置旋转，对排气管道进行清扫，工作可靠，清扫效率高，将炉体运行过程不断将沉积下来的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高单晶炉的工作效率，提高单晶质量。

附图说明

图1是本发明的一实施例的安装结构示意图；

图2是本发明的一实施例的结构示意图。

图中：

1、排气管道 2、自净化装置 20、动力装置

21、第一旋转装置 22、第二旋转装置 23、清扫杆

24、清扫部

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。

图1和2示出了本发明一实施例的结构，具体示出了本实施的结构，本实施例涉及一种单晶炉排气口自净化装置，该单晶炉排气口自净化装置安装在单晶炉排气管道内，位于氧化物堆积的地方，对在炉体运行过程中不断沉积的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高直拉单晶的效率，提高单晶的品质。