[发明专利]等离子反应器及其加热装置

权利要求书

1.一种加热装置，其特征在于，所述加热装置包括：

可编程电源，所述可编程电源用于提供交流加热功率；

加热器组件，所述加热器组件包括多个加热器单元，所述加热器组件通过带通滤波器组件与所述可编程电源连接；所述带通滤波器组件包括多个带通滤波器；

其中，所述可编程电源基于输出的交流加热功率的频率与所述带通滤波器的导通频率的匹配关系，选择为设定的所述加热器单元输入交流加热功率，进行加热，具体的，通过控制交流加热功率的幅值控制所述加热器单元的加热功率，通过控制加热功率的频率范围选择设定加热器单元导通，实现分区温控。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述可编程电源的输出端口连接电流供应线，其回流端口连接电流回线；

所述电流回线通过所述带通滤波器与所述加热器单元的一个电极端口连接，所述电流供应线与所述加热器单元的另一个电极端口连接。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述电流供应线均通过第一射频滤波器与所述可编程电源的输出端口连接，所述电流回线均通过第二射频滤波器与所述可编程电源的回流端口连接。

4.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热器组件具有M行×N列个所述加热器单元；

同一行的所述加热器单元通过同一个所述带通滤波器与同一所述电流回线连接；不同行的所述加热器单元连接不同的所述带通滤波器以及不同的所述电流回线。

5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述可编程电源包括N个输出端口，同一列的所述加热器单元通过同一所述电流供应线与同一所述输出端口连接，不同列的所述加热器单元通过不同的所述电流供应线与不同的所述输出端口连接。

6.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热器组件具有M行×N列个所述加热器单元；

每一个所述加热器单元分别通过一个所述带通滤波器与一所述电流回线连接，不同所述加热器单元连接不同所述带通滤波器，同一行所述加热器单元与同一所述电流回线连接。

7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，同一列的所述加热器单元连接同一所述电流供应线，所有所述电流供应线连接所述可编程电源的同一输出端口。

8.根据权利要求2-7任一项所述的加热装置，其特征在于，所有所述电流回线连接所述可编程电源的同一回流端口。

9.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述可编程电源能够输出多个中心频率不同的交流加热功率，所有交流加热功率的带宽相同；

任意两个交流加热功率的频率范围不交叠。

10.一种等离子反应器，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的加热装置。