[发明专利]一种集成电路机械手测试结果记录方法在审

专利信息
申请号: 201811607926.1 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN109814019A 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 邵嘉阳;祁建华;徐倩云;朱成兼;凌俭波;吴勇佳 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R31/28;G01R1/02
代理公司: 上海海贝律师事务所 31301 代理人: 范海燕
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 测试 机械手 测试结果记录 集成电路 芯片 分析测试 记录文件 配置文件 文件版本 整体信息 操作工 测试机 记录 调用 溯源
【说明书】:

发明公开了一种集成电路机械手测试结果记录方法,TrayMap文件包含两部分记录,第一部分包含整个Tray盘整体信息,包含TrayMap文件版本、该Tray盘的编号、该Tray盘对应的产品的批号,该Tray盘的开始测试时间、结束测试时间,机械手编号、操作工编号、调用的配置文件信息、TrayMap的坐标范围、Summary信息;本发明涉及到TrayMap记录方法,包含每个Tray盘中所有芯片的测试时间、测试Bin、总测试时间等。根据这个记录文件可以方便的分析测试结果,并且根据这个TrayMap文件可以溯源测试机生成该芯片的详细Datalog。

技术领域

本发明涉及集成电路半导体器件测试技术领域,尤其涉及一种集成电路机械手测试结果记录方法。

背景技术

在集成电路半导体器件测试中,机械手通常用于成品测试。有别于晶圆测试,成品电路通常没有像晶圆那样有批号、片号、坐标等这种明显的标识以用于测试数据的溯源。类似晶圆测试中使用的Map图,在成品测试中也需要一个文件来记录晶圆测试的Map图。目前测试机械手测试完成后,只能将芯片按照不同的Bin分到多个Tray盘中,无法对芯片进行溯源跟踪,测试机测试完成,对应的数据无法对应到每个数据上。

发明内容

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种集成电路机械手测试结果记录方法,其中,具体技术方案为:

定义左上角第一个坐标为(1,1),依次,第一行第二个为(2,1),第二行第一个为(1,2),以此生成坐标系统;

每个文件的第一部分记录为该TrayMap的基本信息,记录信息及格式如下:

TrayMap文件版本:C

Tray盘编号:S

Tray盘批号:S

Tray盘开始测试时间:UnixTime

Tray盘结束测试时间:UnixTime

机械手编号:S

操作工编号:S

调用的配置文件信息:S

TrayMap最大行号(X方向):C

TrayMap最大列号(Y方向):C

每个Bin统计数量:ShortShort

C表示一个Byte,支持从0~255;

S由一位长度和最大255个C组成,其中第一位的长度也为一个C,表示后面共有多少个C;

UnixTime时间戳是自1970年1月1日(00:00:00GMT)以来的秒数,它也被称为Unix时间戳(Unix Timestamp),换算后使用4个Byte的空间来存储;

Bin Summay:用两个Short(2个Byte来表示,最大支持65535),第一个Short表示Bin号,第二个Short表示数量;

如下:

0x01 0x01 0x41 0x01 0x42 0x5B 0xF9 0x56 0xDD 0x5B 0xF9 0x57 0x1F

0x01 0x43 0x01 0x44 0x01 0x45 0x09 0x05 0x00 0x01 0x00 0x05 0x00

0x02 0x00 0x04 0x00 0x03 0x00 0x07 0x00 0x02 0x00 0x01

TrayMap文件版本:1

Tray盘编号:A

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