[发明专利]一种可控悬浮晶体生长反应釜

权利要求书

1.一种可控悬浮晶体生长反应釜，包括反应釜体、籽晶和设置在该反应釜体内的坩埚，所述坩埚内装载有反应溶液，所述籽晶设于反应溶液内，其特征在于：还包括位于坩埚内的悬浮装置，所述籽晶与所述悬浮装置连接，所述悬浮装置可在反应溶液内上升或下降以调整所述籽晶在反应溶液内的位置。

2.根据权利要求1所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述悬浮装置设有至少一个中空箱体，所述中空箱体设有用于调节中空箱体浮力的流体进入管和流体排出管，经由流体进入管和流体排出管进入或排出的流体可为液体或气体的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述籽晶装设在中空箱体底部、外侧壁或中空箱体外表面的任何位置。

4.根据权利要求2所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述中空箱体为蓝宝石材质、氮化硼材质或陶瓷材质中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述悬浮装置可周期性或非周期性上下运动。

6.根据权利要求1所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：还包括加热装置，加热装置加热坩埚内的反应溶液并使坩埚内形成有至少一个温区，不同温区的反应溶液可产生对流运动。

7.根据权利要求2所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述加热装置可设置为电阻加热装置、感应加热装置或射频加热装置中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述籽晶为由蓝宝石衬底、碳化硅衬底或氮化镓衬底形成的籽晶。

9.根据权利要求1所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：反应釜体设有用于调整压强的进气管和出气管。

10.根据权利要求1所述的一种可控悬浮晶体生长反应釜，其特征在于：所述反应釜体为圆柱形、棱柱形及任何具有空心壳体结构的几何形体。