[发明专利]线沟扫描装置及其检测方法

权利要求书

1.一种线沟扫描装置，其特征在于，包括：

一个移动组件，通过一个驱动元件经一个导引件驱动一个移动件，该移动件具有一个第一平台；

一个校正组件，具有一个调整平台及一个第二平台，该调整平台成可调整地设置于该第一平台的上表面，该第二平台成可调整地设置于该调整平台的上表面；

一个固定座，通过一个第一固定件与一个第二固定件用以可拆卸地夹持及固定一个待测物，该固定座位于该第二平台的上表面；及

一个测量组件，具有成可调动地连接于一个支撑架的一个扫描件，用以使该扫描件邻近于该移动组件、该校正组件及该固定座。

2.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于， 该导引件的一端设置于一个支座。

3.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于，该移动组件具有至少一个移动件，该移动件可移动地结合于该导引件，该第一平台位于该移动件。

4.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于，该调整平台用以抬升或降低该第二平台。

5.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于，该调整平台用以驱使该第二平台的上表面成不同的倾斜角度或相对于该第一平台转动。

6.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于，该固定座具有一个支持件，该支持件的一端连接该第一固定件或该第二固定件，该支持件的另一端连接该第二平台，该固定座具有一个定位件，可拆卸地结合于该支持件。

7.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于，该扫描件为一个激光扫描器。

8.如权利要求1所述的线沟扫描装置，其特征在于，该测量组件还具有一个影像采集件，该影像采集件邻近于该移动组件、该校正组件及该固定座。

9.一种线沟扫描检测方法，其特征在于，使用如权利要求1至8中任一项所述的线沟扫描装置，通过该扫描件扫描被固定于该固定座的该待测物表面，并产生一个扫描结果。

10.一种线沟扫描检测方法，其特征在于，包括：

一个固定步骤，将一个待测物固定于一个固定座；

一个校正步骤，利用一个校正组件调整该固定座，使该待测物的上表面的多个线沟与一个扫描件的扫描方向成垂直；及

一个测量步骤，利用一个移动组件使该固定座依该扫描件的扫描方向移动，使该扫描件得以通过该待测物表面的一端缘扫描至另一端缘，并产生一个扫描结果。

11.如权利要求10所述的线沟扫描检测方法，其特征在于，该校正步骤利用一个影像采集件取得该待测物的一个待测影像，并利用该待测影像比对一个标准影像，若该待测影像与该标准影像不相符，则通过该校正组件进行校正，再通过该影像采集件重新采集该待测影像，直到该待测影像与标准影像相符。

12.如权利要求10所述的线沟扫描检测方法，其特征在于，该扫描结果选自一个线沟壁角度数值、一个线沟深度数值、一个线沟宽度数值及一个线沟间距数值中的至少一个数值。