[发明专利]进气管路连接装置及含其的用于等离子体刻蚀的进气单元

权利要求书

1.一种进气管路连接装置，用于连接刻蚀气体管线和刻蚀反应腔体上的气体管路接头，其特征在于，所述进气管路连接装置包括管状本体及设置在所述管状本体内的耐腐蚀密封件；所述刻蚀气体管线与所述气体管路接头分别从所述管状本体的两端伸入并进行对接，且对接处由所述耐腐蚀密封件进行环绕并密封；所述管状本体的两端分别与所述刻蚀气体管线与所述气体管路接头通过焊接固定；所述管状本体内设置有用于嵌入耐腐蚀密封件的第一环形凹槽。

2.如权利要求1所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述刻蚀气体管线与所述气体管路接头对接处的外壁拼合成用于嵌入耐腐蚀密封件的第二环形凹槽。

3.如权利要求1所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述刻蚀气体管线和所述气体管路接头在远离对接处的外壁上分别设置有第一环形向外延伸部和第二环形向外延伸部；所述第一环形向外延伸部和第二环形向外延伸部之间拼合成用于嵌入管状本体的第三环形凹槽。

4.如权利要求3所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述管状本体的外周分别与所述第一环形向外延伸部和第二环形向外延伸部的外周对齐；焊接所形成的焊缝位于管状本体分别与第一环形向外延伸部和第二环形向外延伸部结合处的外周位置，以使焊缝远离刻蚀气体管线及气体管路接头的本体。

5.如权利要求4所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述管状本体的两侧分别设置有第三环形向外延伸部和第四环形向外延伸部；所述第三环形向外延伸部和第四环形向外延伸部分别与所述第一环形向外延伸部和第二环形向外延伸部的外周对齐。

6.如权利要求1所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述管状本体的材质为不锈钢。

7.如权利要求1所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述耐腐蚀密封件的材质为特氟龙或聚酰亚胺。

8.如权利要求1所述的进气管路连接装置，其特征在于，所述气体管路接头为VCR接头。

9.一种用于等离子体刻蚀的进气单元，其特征在于，该进气单元包括：用于提供刻蚀气体的刻蚀气体源；与所述刻蚀气体源相连的刻蚀气体管线；设置在刻蚀反应腔体上的气体管路接头以及如权利要求1-8任意一项所述的进气管路连接装置，用于连接刻蚀气体管线和气体管路接头。