[发明专利]多轴纸基加速度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811613358.6 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109470886A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P15/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纸基 加速度传感器 单轴 多轴 安装载体 绿色环保 制备工艺 两轴 三轴 独立运行 环保特性 折叠变形 传统的 低成本 灵敏度 硅基 配置 制备 污染 | ||
1.一种多轴纸基加速度传感器，其特征在于：包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体；所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个，各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行；所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部，两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上；或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。
2.如权利要求1所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述单轴纸基加速度传感器包括纸基载体、配置在纸基载体上的感应部，以及与所述感应部电性连接的信号输出部；所述感应部具有质量块和碳膜电阻，作用在所述质量块上的力经所述碳膜电阻转换成电信号，所述信号输出部将碳膜电阻转换输出的电信号输出至外部测量仪器。
3.如权利要求2所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述单轴纸基加速度传感器还包括信号转接部，所述信号转接部配置在纸基载体上，所述信号转接部电性连接碳膜电阻和信号输出部；所述信号转接部将碳膜电阻转换输出的电信号传输至信号输出部。
4.如权利要求3所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述信号转接部包括涂覆在纸基载体上的导电线，所述导电线的一端连接碳膜电阻，其另一端连接信号输出部；所述导电线的材料为导电胶带、金属薄膜、导电银浆或导电碳浆。
5.如权利要求2所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述单轴纸基加速度传感器还包括固定部，所述单轴纸基加速度传感器通过其固定部安装在所述安装载体的两轴安装部或三轴安装部上。
6.如权利要求2所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述碳膜电阻为涂覆在所述纸基载体上的碳膜，所述碳膜为“U”字形结构。
7.如权利要求6所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述碳膜的材料为石墨、石墨烯或碳纳米管。
8.如权利要求1-7任一项所述的多轴纸基加速度传感器，其特征在于：所述安装载体上还设有输出通孔，所述输出通孔配置在与两轴安装部或三轴安装部相邻位置的平面上；各所述单轴纸基加速度传感器的信号输出部均通过所述输出通孔连接外部测量仪器。
9.一种多轴纸基加速度传感器的制备方法，其特征在于：包括，
基于裁切、冲压或者激光切割工艺制成纸基安装载体；
基于裁切、冲压或者激光切割工艺制成纸基载体，在所述纸基载体上制备单轴纸基加速度传感器；
取两个单轴纸基加速度传感器固定在纸基安装载体上；或者取三个单轴纸基加速度传感器固定在纸基安装载体上。
10.如权利要求9所述的多轴纸基加速度传感器的制备方法，其特征在于：制备单轴纸基加速度传感器的步骤包括，
在所述纸基载体上形成碳膜电阻和质量块，在纸基载体上形成信号转接部，在输出固定块上形成信号输出部，所述碳膜电阻通过信号转接部电性连接信号输出部。
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