[发明专利]一种时域光谱仪的成像扫描装置及方法在审
| 申请号： | 201811613778.4 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109520963A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 黄培雄;郝培博;湛俊秋 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;深圳市太赫兹科技创新研究院 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太赫兹信号 样品移动 音圈电机 成像扫描装置 时域光谱仪 同步运动 像素点 相干 采集 连续扫描成像 太赫兹辐射源 电流放大 化学信息 结构信息 缺失现象 扫描样品 数据处理 物理信息 行偏移 偏移 丢包 拉伸 位机 矫正 探测 聚焦 图像 传输 | ||
1.一种时域光谱仪的成像扫描装置，其特征在于，所述成像扫描装置包括：
用于产生太赫兹信号的太赫兹辐射源；
与所述太赫兹辐射源连接，用于承载被扫描样品，并使所述太赫兹信号聚焦到所述被扫描样品的样品移动平台；
与所述样品移动平台连接，用于探测穿透过或反射于所述被扫描样品的所述太赫兹信号的强度的探测单元；
与所述探测单元连接，用于对所述太赫兹信号进行相干采集并进行传输的音圈电机；以及
与所述音圈电机及所述样品移动平台连接，用于将所述样品移动平台的位置信息以及对相干采集后的所述太赫兹信号进行电流放大后，以传输至上位机进行数据处理，并控制所述音圈电机及所述样品移动平台同步运动的控制单元。
2.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述太赫兹信号的频率范围为0.1THz～10THz。
3.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述探测单元采用信号探测器实现。
4.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述太赫兹辐射源采用飞秒激光激发半导体材料表面后产生所述太赫兹信号。
5.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述控制单元采用微处理器实现。
6.一种时域光谱仪的成像扫描方法，其特征在于，所述成像扫描方法包括：
采用太赫兹辐射源产生太赫兹信号；
采用样品移动平台承载被扫描样品，并使所述太赫兹信号聚焦到所述被扫描样品；
采用探测单元探测穿透过或反射于所述被扫描样品的所述太赫兹信号的强度；
采用音圈电机对所述太赫兹信号进行相干采集并进行传输；
采用控制单元将所述样品移动平台的位置信息以及对相干采集后的所述太赫兹信号进行电流放大后，以传输至上位机进行数据处理，并控制所述音圈电机及所述样品移动平台同步运动。
7.如权利要求6所述的成像扫描方法，其特征在于，控制所述音圈电机及所述样品移动平台同步运动具体包括：
当获取到所述音圈电机开始运动时输出的初始脉冲信号，则控制所述样品移动平台开始移动。
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