[发明专利]抛光液供给系统、方法及抛光系统

权利要求书

1.一种抛光液供给系统，其特征在于，包括：中央供给子系统和设备端供给子系统，其中，

所述中央供给子系统与所述设备端供给子系统通过第一管道连通；

当所述中央供给子系统接收到所述设备端供给子系统发送的供给请求时，所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液；

所述设备端供给子系统混合所述抛光原液和添加剂得到抛光液，并向多个抛光设备供给所述抛光液；

所述中央供给子系统包括：第一控制单元和第一供给单元，所述第一控制单元和所述第一供给单元电连接；

所述设备端供给子系统包括：第二控制单元和第二供给单元，所述第二控制单元和所述第二供给单元电连接；

所述第一控制单元和所述第二控制单元电连接，所述第一供给单元与所述第二供给单元通过所述第一管道连通；

当所述第一控制单元接收到所述第二控制单元发送的供给请求时，所述第一控制单元控制所述第一供给单元向所述第二供给单元供给所述抛光原液；

所述第二控制单元控制所述第二供给单元混合所述抛光原液和所述添加剂得到抛光液，以及控制所述第二供给单元向多个抛光设备供给所述抛光液；

所述第一供给单元包括：多个第一供给支路、第二管道、多个第二供给支路；

所述第二供给单元包括：多个第三供给支路，所述第三供给支路的数量与所述抛光设备的数量相同，每个所述第三供给支路分别对应一个所述抛光设备；

所述多个第二供给支路采用并联方式分别与所述第一管道的一端和所述第二管道的一端连通；

所述多个第一供给支路采用并联方式与所述第二管道的另一端连通，所述多个第三供给支路采用并联方式与所述第一管道的另一端连通；

所述第一供给支路包括：第一液罐和第一液泵；

所述第二供给支路包括：第二液罐和第二液泵；

所述第三供给支路包括：第三液罐、第三液泵和第三管道；

所述第一液泵和所述第二液泵分别与所述第一控制单元电连接，所述第三液泵与所述第二控制单元电连接；

其中，所述第一液罐中装有所述抛光原液，所述第二液罐与所述第二管道连通，所述第三液罐与所述第一管道连通；

所述第一液罐与所述第一液泵的输入端连通，所述第一液泵的输出端与所述第二管道连通，所述第一控制单元控制所述第一液泵将所述抛光原液从所述第一液罐输入所述第二液罐；

所述第二液罐与所述第二液泵的输入端连通，所述第二液泵的输出端与所述第一管道连通，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第二液罐输入所述第三液罐；

所述第三液罐内设置有搅拌装置，所述搅拌装置与所述第二控制单元电连接，所述第二控制单元控制所述搅拌装置混合所述抛光原液和所述添加剂得到所述抛光液；

所述第三液罐与所述第三液泵的输入端连通，所述第三液泵的输出端与所述第三管道的一端连通，所述第三管道的另一端与所述抛光设备连通，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第三液罐输入所述抛光设备；

所述中央供给子系统还包括：清洗装置；

所述清洗装置与所述第二液罐连通，所述清洗装置向所述第二液罐输入清洗剂，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述清洗剂从所述第二液罐输入所述第三液罐，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述清洗剂从所述第三液罐输入所述抛光设备，通过所述抛光设备排出所述清洗剂。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：第一回流管道；

所述第一回流管道设置在所述第一管道上，所述第一回流管道与所述第二液罐连通，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐；

所述设备端供给子系统还包括：第二回流管道；

所述第二回流管道设置在所述第三管道上，所述第二回流管道与所述第三液罐连通，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第二回流管道回流至所述第三液罐。